就目前國(guó)際半導(dǎo)體制造工藝成熟與否而言，65nm應(yīng)該是個(gè)公認(rèn)的分界點(diǎn)，畢竟進(jìn)入65nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)者已大為減少，而以中芯國(guó)際為代表的中國(guó)半導(dǎo)體制造水平及能力，則剛完成65nm工藝的批量化生產(chǎn)，另一條華力微65nm生產(chǎn)線還在建設(shè)當(dāng)中。而國(guó)際上半導(dǎo)體最新工藝已經(jīng)在向32/28nm挺進(jìn)。

其實(shí)，中國(guó)半導(dǎo)體制造工藝不是在按摩爾定律的節(jié)奏在走，而是以WassenaarArrangement定的步調(diào)在發(fā)展，得到的永遠(yuǎn)都是落后于最新技術(shù)1-2代工藝節(jié)點(diǎn)，這是我們自身無先進(jìn)工藝開發(fā)能力，IC設(shè)計(jì)端沒有最新工藝需求，以及自身不具備設(shè)備、材料研制能力所決定的。

2010財(cái)年，中芯國(guó)際結(jié)束了公司IPO后5年來持續(xù)虧損的歷史。王寧國(guó)表示，未來5年中芯國(guó)際第一是要成為持續(xù)成長(zhǎng)的國(guó)際型中國(guó)集成電路加工制造公司，第二是受惠于中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)鏈的發(fā)展，同時(shí)輔助中國(guó)建設(shè)集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈。據(jù)悉，中芯國(guó)際前10名客戶中，中國(guó)本土公司已經(jīng)占到50%，對(duì)公司業(yè)務(wù)貢獻(xiàn)率已由2009年的21%提升至32%。

最能說明問題的是，王寧國(guó)認(rèn)為，“未來三年是中芯國(guó)際的關(guān)鍵年，中芯國(guó)際必須在2010-2011年實(shí)現(xiàn)65/55納米制程量產(chǎn)，2011-2012年完成45/40納米制程的小規(guī)模量產(chǎn)，到2013-2014年32/28納米的制程也必須開始有量產(chǎn)，這樣我們就可實(shí)現(xiàn)與世界先進(jìn)水平的差距在18個(gè)月左右。”這個(gè)工藝水平的發(fā)展速度，同樣沒有超出Wassenaar Arrangement給設(shè)定的上限，中芯國(guó)際必需面對(duì)現(xiàn)實(shí)。

設(shè)備商新品上市，重點(diǎn)目標(biāo)大都瞄向北美及中國(guó)大陸周邊地區(qū)。DEK大中華區(qū)總經(jīng)理黃俊榮認(rèn)為，在亞洲的半導(dǎo)體市場(chǎng)中，日本、韓國(guó)、臺(tái)灣是比較高端的，日本地震造成的缺口自然就會(huì)轉(zhuǎn)到韓國(guó)和臺(tái)灣去，中國(guó)大陸還不是先進(jìn)技術(shù)的最先應(yīng)用之地。

從Foundry業(yè)者對(duì)中國(guó)市場(chǎng)需求的定位，也看出成熟工藝在中國(guó)才是現(xiàn)實(shí)的選擇。GLOBAL FOUNDRIES新加坡200mm制程總經(jīng)理Raj Kumar認(rèn)為，今后將會(huì)有越來越多的IDM公司會(huì)轉(zhuǎn)向輕晶圓或者是無晶圓業(yè)務(wù)模式，這是Foundry發(fā)展的動(dòng)力所在。200毫米的技術(shù)雖然說是成熟技術(shù)，但非常看好它的增長(zhǎng)：首先，現(xiàn)有的5英寸和6英寸的這些產(chǎn)能將會(huì)逐漸轉(zhuǎn)向200毫米晶圓，這是一個(gè)比較重要的潮流。另外，目前的200毫米產(chǎn)能當(dāng)中，IDM自有的晶圓廠約占50%左右，但以后IDM這些晶圓廠的產(chǎn)能會(huì)外包出去，所以這也是一個(gè)推動(dòng)200毫米產(chǎn)能增長(zhǎng)的第二個(gè)重要原因。

Crossing Automation產(chǎn)品營(yíng)銷副總裁徐玫(MaySu)表示，“基于200mm晶圓廠資本投資所具有的成本優(yōu)勢(shì)，許多制造廠現(xiàn)在希望能將標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口運(yùn)用于既有工具系統(tǒng)上。而Crossing Automation的解決方案，剛好可將標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口應(yīng)用于開放式晶圓匣工具上，使各式各樣200mm設(shè)備皆可為晶圓廠帶來標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口的優(yōu)勢(shì)。”

就市場(chǎng)需求而言，徐玫表示，在2010年被關(guān)掉的72條生產(chǎn)線中，有52條是150mm線，而在現(xiàn)有的200mm生產(chǎn)線中約有99%需要SMIF服務(wù)方案。

如TI的成都200mm生產(chǎn)線，一次就需要600臺(tái)左右產(chǎn)品，所以市場(chǎng)需求在未來幾年會(huì)持續(xù)保持旺盛。

中國(guó)大陸晶圓廠，已掌握200mm生產(chǎn)線的運(yùn)作。據(jù)悉，新任中芯國(guó)際200mm營(yíng)運(yùn)中心主管的陳姓副總來自臺(tái)灣半導(dǎo)體界，用了近一年時(shí)間首先穩(wěn)定住了200mm營(yíng)運(yùn)團(tuán)隊(duì)，并在此基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到世界一流200mm生產(chǎn)線水準(zhǔn)，0.13微米技術(shù)節(jié)點(diǎn)每層光罩的成本已連續(xù)3個(gè)季度達(dá)到世界水平。而中芯國(guó)際天津廠，則是一位沒有任何海外留學(xué)背景的人在任廠長(zhǎng)，已使天津廠連續(xù)3個(gè)季度被關(guān)鍵客戶評(píng)為全球排名第一的Foundry廠。

但200mm生產(chǎn)線要以獨(dú)特的工藝能力取勝。RajKumar表示，“在全球有200毫米生產(chǎn)線的公司很多，但是能做MEMS的公司并不多，因此我們非常希望能夠在這樣一個(gè)市場(chǎng)上擴(kuò)大我們的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。”RajKumar稱，盡管我們?cè)?00毫米MEMS方面也有不少競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，但是真正能夠做到汽車電子級(jí)別的，應(yīng)該說寥寥無幾。

據(jù)悉，GLOBAL FOUNDRIES在中國(guó)主要是希望能夠在增值市場(chǎng)上，也就是成熟節(jié)點(diǎn)上的高端應(yīng)用上希望能夠有更多的中國(guó)用戶，而電源管理和RFID等方面將是GLOBAL FOUNDRIES主打的幾塊業(yè)務(wù)，“即綠色、節(jié)能技術(shù)，以及圍繞以應(yīng)用為導(dǎo)向的制程技術(shù)，是GF今后在中國(guó)的發(fā)展方向”，Raj Kumar說。