29日下午，中央政治局委員、上海市委書記韓正視察中微半導體設備(上海)有限公司，市委常委、浦東新區(qū)區(qū)委書記沈曉明，市委常委、市委秘書長尹弘，副市長周波，市委副秘書長、研究室主任張道根，市委副秘書長王為人，市政府副秘書長徐逸波等領導陪同視察。

在聽取了公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯有關產品研發(fā)設計、產品生產銷售以及未來發(fā)展前景等情況介紹，并實地參觀了設備生產及產品研發(fā)潔凈室后，韓正同志指出，半導體智能裝備及技術是國家產業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略的重點領域，支持高端智能制造業(yè)發(fā)展，也是上海轉型發(fā)展的重要舉措，中微公司十年磨一劍，發(fā)展狀況較前幾年有很大變化，目前市場份額越來越大，發(fā)展前景可喜，市有關方面要圍繞企業(yè)提出的問題加強指導幫助和協(xié)調解決。

據悉，中微已開發(fā)出半導體芯片工業(yè)所必須的12英寸65納米到20納米等離子體介質刻蝕高端設備，并已實現批量生產和銷售，產品全面進入國際市場，已成為國際半導體業(yè)界包括美Lam和日本東京電子同類設備在內的三個最好的介質刻蝕設備。8英寸和12英寸硅通孔刻蝕設備是中微開發(fā)的第二種設備產品，已經取得國內市場的半壁江山，并實現了出口，廣泛應用在海內外客戶芯片生產線上，成為國際最具競爭力的三家產品之一。同時，中微已完成第三種設備產品——制造發(fā)光二極管LED的關鍵設備MOCVD的開發(fā)。產品已經在客戶芯片生產線順利通過了三個階段全工藝過程核準，近期還將進入海內外另外幾家LED外延片生產企業(yè)。