精密真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)領(lǐng)先制造商及相關(guān)增值服務(wù)全球供應(yīng)商Edwards 集團(tuán)有限公司(納斯達(dá)克代碼：EVAC)最近加入了一個(gè)由全球十家半導(dǎo)體設(shè)備公司組成、旨在組建450mm晶圓制造設(shè)備聯(lián)盟(F450C)的工作組。這是全球450聯(lián)盟(G450C)的一個(gè)分小組，其建立是為了解決下一代450mm半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)施的復(fù)雜開發(fā)和基礎(chǔ)設(shè)施要求。

F450C辦公地點(diǎn)位于紐約州立大學(xué)阿爾巴尼分校的納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE)，其成立是為了開發(fā)必要的關(guān)鍵設(shè)備技術(shù)，以確定有競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備解決方案，從而使450mm晶圓制造得以實(shí)現(xiàn)。Edwards 是聯(lián)盟中唯一一家代表真空和尾氣處理設(shè)備的公司，這體現(xiàn)了Edwards公司在半導(dǎo)體行業(yè)以及其他廣泛應(yīng)用中的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)領(lǐng)先地位。

Edwards公司CEO Jim Gentilcore 評(píng)論道：“我們對(duì)于F450C聯(lián)盟內(nèi)部的合作機(jī)會(huì)感到很高興，Edwards將可以把在真空和尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)專長(zhǎng)和創(chuàng)新應(yīng)用到產(chǎn)業(yè)的下一個(gè)巨大變革。聯(lián)盟成員之間的協(xié)作將是理解升級(jí)過渡中的各方面實(shí)際需求的關(guān)鍵，也將最終實(shí)現(xiàn)由450mm晶圓制造工藝所帶來(lái)的生產(chǎn)效率提高?！?/p>

G450C 主要為450mm制造設(shè)備和工藝技術(shù)提供指導(dǎo)，而F450C的目標(biāo)則是開發(fā)向450mm晶圓制造過渡過程中必不可少的配套設(shè)備和基礎(chǔ)設(shè)施方案。這些方案可以解決更多超出450mm晶圓生產(chǎn)帶來(lái)的制造難題，因?yàn)橄乱淮圃旃S帶來(lái)了設(shè)施設(shè)計(jì)、基板處理、工具連接、化學(xué)品分送、水和電氣系統(tǒng)以及許多其它領(lǐng)域的新挑戰(zhàn)。

2013年6月28日，紐約州州長(zhǎng)Andrew M. Cuomo宣布，F(xiàn)450C在紐約州立大學(xué)納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE)的成立帶來(lái)500多萬(wàn)美元的新私人投資，并創(chuàng)造了多達(dá)150個(gè)高科技工作崗位。

在SEMICON? West 2013展覽會(huì)期間將會(huì)舉辦一個(gè)450mm制造EHS論壇(450mm Manufacturing EHS Forum)，屆時(shí)將討論隨著制造商轉(zhuǎn)向450mm晶圓工藝而帶來(lái)的環(huán)境、健康和安全(EHS)問題，以及所產(chǎn)生影響和挑戰(zhàn)。