據(jù)市場研究機構(gòu)YoleDevelopment的最新統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2011年世界微機電系統(tǒng)市場規(guī)模達到了102億美元，比2010年增長19%，這一增長速度遠超同年1.8%的世界半導體總體營收增幅和4%的世界Fabless銷售額漲幅。

MEMS發(fā)展歷史雖然已有數(shù)十年的時間，但近年來隨著智能手機、汽車電子、醫(yī)療電子、物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對陀螺儀、射頻(RF)MEMS元件、MEMS麥克風等MEMS元件產(chǎn)品的需求量將會持續(xù)攀升，推動MEMS產(chǎn)業(yè)進入快速發(fā)展階段。

高價值MEMS主打醫(yī)療生物領域

醫(yī)療電子應用領域的MEMS市場正在快速增長，2011年高價值MEMS市場需求額19億美元，需求數(shù)量約1.2億顆。iSuppli預計今后5年高價值MEMS市場將以20%左右的年復合成長率(CAGR)增長。

醫(yī)療電子及醫(yī)療儀器等領域需求的高價值MEMS市場，會隨著全球暖化與人口高齡化等因素影響，不僅近年來獲得快速發(fā)展，將來還會獲得更加強勁的增長。

MEMS可用于許多生物和醫(yī)療電子產(chǎn)品中，如心臟起搏器、精密手術儀器、醫(yī)療機器、仿生眼、智能假肢、血糖儀、數(shù)字血壓計、血氣分析儀、數(shù)字脈搏和心率、數(shù)字溫度計、懷孕測試儀、透皮給藥系統(tǒng)、透析系統(tǒng)和氧濃縮器等。許多醫(yī)療電子產(chǎn)品使用的技術越來越復雜，為了確保包括醫(yī)護人員、病患本人以及最重要的家庭用戶在內(nèi)的每個人都能安全有效地使用這些產(chǎn)品，對這些產(chǎn)品的設計要求越來越高，并且其中許多要求可能存在沖突。對于設計師來說，所有這一切則意味著要在給定空間上實現(xiàn)更多的功能，同時盡可能地降低功率，都需要用到高性能、高可靠的MEMS傳感器，從傳感器機制到整機產(chǎn)品的系統(tǒng)特性，以實現(xiàn)將生命體的運動檢測轉(zhuǎn)化為對醫(yī)療保健有用的電信號。

在醫(yī)療電子應用領域，MEMS技術的目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，這樣不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可以嵌入大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)。

以英國為基地開展納米技術研發(fā)的英國Innos，作為從英國貿(mào)易工業(yè)部(DTI)取得資金援助的聯(lián)盟一員，將開展在醫(yī)療領域應用MEMS發(fā)電機的相關研究。該組織的研究項目是Self-EnergizingImplantableMedicalMicroSystems(SIMM)，時間為兩年。將開發(fā)、試制可從人體內(nèi)部及外部的運動中獲取能量的元件。

Innos將采用英國Perpetuum提供的振動能量捕獲式微型發(fā)電機，進行基于硅的開發(fā)及元件加工，并向英國FinsburyOrthopaedics提供樣機以進行綜合測試。英國InVivoTechnology已經(jīng)證實了能量捕獲裝置的臨床兼容性和臨床可行性。英國OdstockMedical將在功能性電刺激(FES)市場采用此技術。該項目的主導方加拿大卓聯(lián)半導體(ZarlinkSemiconductor)將提供尖端微型封裝技術。

醫(yī)療電子應用領域的MEMS市場正在快速增長，2011年高價值MEMS市場需求額19億美元，需求數(shù)量約1.2億顆。iSuppli預計今后5年高價值MEMS市場將以20%左右的年復合成長率(CAGR)增長。Yole預測，到2016年，生物和醫(yī)療電子領域用MEMS將占全球市場總需求的24%。

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