TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)已經(jīng)在FPD(平板顯示)行業(yè)占據(jù)了主流地位，各大廠商為降低成本、提高生產(chǎn)效率，長期以來不斷地致力于增大玻璃基板的尺寸，從而帶動了生產(chǎn)設(shè)備的不斷更新。與此同時(shí)，環(huán)保、節(jié)能的理念也逐漸滲透到生產(chǎn)制造的過程之中。在過去10年里，中國大陸建設(shè)TFT-LCD產(chǎn)業(yè)鏈的工作已經(jīng)卓有成效，現(xiàn)在更需要全行業(yè)齊心協(xié)力，盡力縮小與世界先進(jìn)水平的差距。

截至今年，“FinetechJapan”FPD研發(fā)及制造技術(shù)博覽會已舉辦了18屆。18年前，第1代TFT-LCD產(chǎn)品剛剛投入量產(chǎn)，如今，第10代生產(chǎn)線已在建設(shè)之中。消費(fèi)類電子產(chǎn)品、個(gè)人電腦、筆記本電腦和液晶電視等領(lǐng)域的需求為液晶顯示產(chǎn)業(yè)提供了廣闊的發(fā)展空間。

欲善其事 先利其器

在平板顯示行業(yè)，制造設(shè)備總是隨著產(chǎn)品的更新?lián)Q代而水漲船高。在本屆博覽會上，半導(dǎo)體和平板顯示業(yè)內(nèi)知名設(shè)備制造商TEL(東電電子)展示了該公司于2007年推出的兩款新設(shè)備：用于7.5代和8代TFT-LCD涂膠/顯影的Exceliner系列及用于7.5代和8代TFT-LCD等離子刻蝕/去膠的Impressio系列。與現(xiàn)有的6代涂膠/顯影設(shè)備相比，Exceliner系列的玻璃基板傳送驅(qū)動部分體積縮減了70%，玻璃基板的垂直傳送距離減少了80%，加工過程中玻璃的破損率也大幅降低。并且，由于設(shè)備高度的下降，生產(chǎn)的安全系數(shù)也得以提升。Impressio系列則是多腔體的等離子刻蝕/去膠設(shè)備，可用于非晶硅的刻蝕、絕緣層的刻蝕、金屬層的刻蝕以及干法去膠。該設(shè)備最多可提供3個(gè)反應(yīng)腔體，用于進(jìn)行刻蝕或去膠的操作。當(dāng)然，TEL顯然也沒有“忘記”中小尺寸平板顯示器，該公司還展示了用于4.5代線的干法刻蝕機(jī)——— HT系列。該系列的特點(diǎn)是不僅可以用于非晶硅TFT-LCD的加工，而且可以用于LTPS(低溫多晶硅)工藝。該設(shè)備配置有4個(gè)反應(yīng)腔體，并可由客戶選擇4種不同的反應(yīng)模式。

隨著TFT-LCD世代的提升，玻璃基板的尺寸不斷增大，生產(chǎn)設(shè)備也向著大型化、自動化方向發(fā)展。如果說玻璃基板尺寸為 1100mm×1300mm的5代生產(chǎn)線還可以部分地依靠人力進(jìn)行物料搬運(yùn)的話，6代(基板尺寸為1500mm×1800mm)以上的生產(chǎn)線則必須完全依賴智能化的機(jī)械設(shè)備。目前，夏普的10代線加工的玻璃基板尺寸已經(jīng)達(dá)到2850mm×3050mm，用于傳遞玻璃基板的機(jī)器人就成了整條生產(chǎn)線的重要環(huán)節(jié)。在本屆博覽會上，安川電機(jī)展示了用于10代TFT-LCD生產(chǎn)線的機(jī)器人——— MOTOMAN-CDL3000D。該設(shè)備采用雙懸臂架構(gòu)，每個(gè)懸臂荷載為100kg。設(shè)備高度約為5.8m，垂直輸送距離為4m，旋轉(zhuǎn)角度為340°，并具備高速、高精度的特征。由于具有優(yōu)異的性能，在本屆博覽會中，該設(shè)備獲得了組委會所評選的ADY獎(顯示行業(yè)年度獎)。

在平板顯示器的生產(chǎn)中，測試設(shè)備也是不可或缺的。德國ISRA(伊斯拉視像系統(tǒng)公司)展示了FPD業(yè)界專用的AOI(自動光學(xué)檢測)系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于TFT-LCD生產(chǎn)的陣列部分、彩色濾光片部分和模組部分，可實(shí)時(shí)地監(jiān)控生產(chǎn)過程，不斷收集信息并即使地反饋到生產(chǎn)線上，從而提高產(chǎn)品的成品率。

關(guān)注環(huán)保 綠色很“紅”

環(huán)保和節(jié)能的“綠色”主題貫穿了整個(gè)展會。除了索尼、夏普、LG等多家企業(yè)的代表分別向公眾推薦其“綠色”產(chǎn)品之外，來自我國臺灣地區(qū)平板顯示龍頭企業(yè)———友達(dá)光電的盧勇宏先生還向與會各界人士介紹了生產(chǎn)過程中的環(huán)保、節(jié)能措施。

通常，人們把環(huán)保、節(jié)能的主要措施歸納為“3R”，即節(jié)約(redu-ce)、回收(recycle)和重復(fù)使用(reuse)。友達(dá)光電在這幾個(gè)方面都有良好的表現(xiàn)。

在“節(jié)約”方面，友達(dá)光電在工程設(shè)計(jì)中利用下技術(shù)夾層回風(fēng)并采用FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)來控制生產(chǎn)廠房的溫度、濕度和潔凈度，大幅度降低了用電量和CO2排放量。以月產(chǎn)10萬片46英寸TFT-LCD面板的生產(chǎn)線為例，采用此措施之后每年節(jié)省用電120萬kWh，CO2排放量減少750噸。此外，在LCD的偏光片貼附工序，友達(dá)光電用垂直雙面貼附代替了水平單面貼附，使得所需設(shè)備數(shù)量減少一半，該工序的用水、用電量和所需的廠房面積自然也隨之縮減。

在“回收”方面，TFT-LCD生產(chǎn)中所用的光刻膠、顯影液、去膠劑、PI(聚酰亞胺)以及液晶材料等都在回收之列，甚至廢棄的玻璃基板也可回收之后作建筑裝飾之用。

在“重復(fù)使用”方面，友達(dá)光電利用設(shè)備爐體的余熱對即將進(jìn)入爐體的空氣進(jìn)行預(yù)熱，有效地降低了熱量的損失。同樣以月產(chǎn)10萬片46英寸TFT-LCD面板的生產(chǎn)線為例，采用此措施之后每年節(jié)省用電520萬kWh，CO2排放量減少3300噸。

友達(dá)光電還提出了“‘3+1’R”的概念，在“3R”的基礎(chǔ)上增加了“替代(replace)”，即使用更環(huán)保、更節(jié)能的材料替代原有的材料。例如選用砷、鉛含量極低的玻璃基板以及無鹵素的材料等。此外，選擇更高效的背光源也是一個(gè)很有前途的替代方案。

行業(yè)協(xié)作 縮小差距

盡管中國大陸的平板顯示產(chǎn)業(yè)起步較晚，發(fā)展道路也歷經(jīng)坎坷，但各家企業(yè)都對本屆展會給予了充分的重視，平板顯示行業(yè)的主要廠家都參與了展會或派代表在展會論壇上發(fā)表了演講。而TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的新兵上海天馬更是攜手深圳天馬登臺亮相，為本屆展會的中小尺寸FPD產(chǎn)品增添了一抹亮色。

但總體而言，中國大陸的平板顯示產(chǎn)業(yè)與日本、韓國和我國臺灣地區(qū)相比仍有很大的差距。據(jù)京東方常務(wù)副總裁劉曉東透露，在我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的2007年，中國大陸液晶面板在個(gè)人電腦、筆記本電腦和液晶電視領(lǐng)域的產(chǎn)量分別只占全球總產(chǎn)量的 12%、0.16%和0.43%。不過，據(jù)與會專家提供的消息，自2007年以來，中國大陸已有多個(gè)平板顯示項(xiàng)目投入量產(chǎn)或取得重大進(jìn)展，中國平板顯示產(chǎn)業(yè)迎來了新一輪建設(shè)高潮。

劉曉東常務(wù)副總裁則強(qiáng)調(diào)了京東方“合作創(chuàng)造價(jià)值”的理念，他表示，京東方將繼續(xù)專注于自己最擅長的領(lǐng)域，通過與產(chǎn)業(yè)鏈上下游各廠商的合作，實(shí)現(xiàn)全行業(yè)的共贏。的確，企圖在一夜之間超越日韓是不現(xiàn)實(shí)的，中國大陸企業(yè)都應(yīng)該專注于自己擅長的領(lǐng)域，并在政府支持下重點(diǎn)突破產(chǎn)業(yè)鏈的薄弱環(huán)節(jié)，才能逐步縮小與日韓的差距，才能真正迎來平板顯示產(chǎn)業(yè)的春天。

（編輯：文靜）