日本新一代移動(dòng)顯示材料技術(shù)研究協(xié)會(huì)(TRADIM)開(kāi)發(fā)出在薄膜底板上連續(xù)形成TFT數(shù)組的技術(shù)??捎糜诓捎眠B續(xù)滾動(dòng)條式制造技術(shù)的液晶面板制造。
此次,TRADIM在長(zhǎng)10m、寬300mm的薄膜底板上形成了相當(dāng)于3.5吋的TFT數(shù)組。薄膜底板的厚度約為250μm。即使把薄膜底板纏繞在直徑為300mm的輥軸上,TFT數(shù)組也不會(huì)折斷或龜裂。薄膜底板的Tg(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度)為250℃以上,線膨脹系數(shù)為14ppm/℃。即便使用連續(xù)滾動(dòng)條式制造技術(shù),在進(jìn)行與彩色濾光片底板粘合時(shí)的熱處理(配向膜的燒成和密封硬化的熱處理)時(shí),“也可保持尺寸穩(wěn)定性”(該公司)。薄膜的透過(guò)率為90%左右。另外,對(duì)于薄膜的材料類型和開(kāi)發(fā)廠商的名稱,該公司表示“不便公布”。
在薄膜底板上形成TFT數(shù)組的工藝為:首先,在玻璃底板上形成TFT數(shù)組。用抗化學(xué)制劑的薄膜封裝TFT數(shù)組的表面后,用藥液蝕刻玻璃底板背面,將厚度減至幾十μm,實(shí)現(xiàn)薄型化。之后,使用光學(xué)同向性粘合劑將薄型TFT數(shù)組底板連續(xù)黏貼到薄膜底板上,由此形成TFT數(shù)組。
該協(xié)會(huì)此前已開(kāi)發(fā)出在薄膜底板上形成彩色濾光片和背照燈光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)。
(助編:xiaohu)
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