近日，諾發(fā)公司宣布其已向旭瑞光電公司提供了一臺(tái)VECTOR（R）型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備。旭瑞光電是一家位于佛山的合資公司，其股東之一是世界領(lǐng)先的高亮度LED生產(chǎn)企業(yè)——美國(guó)旭明公司（Semileds Corporation ）。這臺(tái)新的VECTOR將被安裝在佛山旭瑞光電的生產(chǎn)車間里，用于生產(chǎn)金屬基垂直結(jié)構(gòu)高效LED。

每晶片成本和每流明成本是驅(qū)動(dòng)主流照明市場(chǎng)接受LED技術(shù)的關(guān)鍵因素?，F(xiàn)有LED制造技術(shù)，主要是基于2—4英寸不同直徑的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行外延生長(zhǎng)，這種方法本身生產(chǎn)效率低、能量消耗大，制備一片2英寸藍(lán)寶石襯底LED，平均消耗的電能高達(dá)200kWh。

與傳統(tǒng)LED鍍膜設(shè)備相比，VECTOR系統(tǒng)在行業(yè)處于領(lǐng)先地位，因?yàn)樗鼡碛袑挼墓に嚧翱诤透弋a(chǎn)能，使LED的每晶片成本得以下降。VECTOR LED鍍膜系統(tǒng)中有一個(gè)多晶片載體裝置，能夠放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，產(chǎn)能巨大，且沉積的各尺寸薄膜質(zhì)量和均勻性都很好，此外，VECTOR LED系統(tǒng)是在較低溫度下沉積薄膜，這與傳統(tǒng)LED用PECVD設(shè)備相比，生產(chǎn)過程易于控制且高效節(jié)能。

“這種新型VECTOR LED鍍膜系統(tǒng)是LED芯片制造產(chǎn)業(yè)中最具生產(chǎn)力的PECVD系統(tǒng)” 諾發(fā)電介質(zhì)和PECVD事業(yè)部高級(jí)副總裁兼總經(jīng)理Mr. Sesha Varadarajan表示，“我們非常高興VECTOR LED系統(tǒng)，包括我們的光阻去除、物理氣相沉積、電鍍以及晶片拋光和減薄系統(tǒng)解決方案，能夠進(jìn)入旭瑞光電現(xiàn)有的LED芯片生產(chǎn)線中”。

“我們一直在努力提高產(chǎn)能和能效，所以我們佛山旭瑞的工廠里采用VECTOR LED系統(tǒng)”旭瑞光電公司總經(jīng)理Mr. Marco Mora說，“諾發(fā)公司在中國(guó)的基礎(chǔ)架構(gòu)和服務(wù)能力，讓我們相信，選擇諾發(fā)作為旭瑞光電的供應(yīng)商是非常明智的。”