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[導(dǎo)讀]按照l(shuí)ed上游材料制備所用的襯底劃分,目前已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的有三種技術(shù)路線,即藍(lán)寶石襯底半導(dǎo)體照明、碳化硅襯底半導(dǎo)體照明和硅襯底半導(dǎo)體照明。其中前兩條技術(shù)路線的核心專(zhuān)利主要掌握在日亞、豐田合成、科銳、歐司朗、

按照led上游材料制備所用的襯底劃分,目前已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的有三種技術(shù)路線,即藍(lán)寶石襯底半導(dǎo)體照明碳化硅襯底半導(dǎo)體照明和硅襯底半導(dǎo)體照明。其中前兩條技術(shù)路線的核心專(zhuān)利主要掌握在日亞、豐田合成、科銳、歐司朗、飛利浦等日美歐幾大巨頭企業(yè)手中,而硅襯底上GaN基LED專(zhuān)利技術(shù)為我國(guó)擁有,是實(shí)現(xiàn)LED產(chǎn)業(yè)突破國(guó)際專(zhuān)利封鎖的重要技術(shù)路線。

無(wú)論是藍(lán)綠光LED還是紅黃光LED,無(wú)論是鎵氮體系還是鋁鎵銦磷體系,無(wú)論是藍(lán)寶石、碳化硅、硅襯底還是砷化鎵襯底,超高亮度LED芯片制造技術(shù),均發(fā)展到剝離襯底制備薄膜LED路線上來(lái)。究其原因:一是外延膜轉(zhuǎn)移到新基板后,有利于散熱,降低結(jié)溫,提高發(fā)光效率,延長(zhǎng)器件壽命;二是通過(guò)制作P面反光鏡和N面粗化,顯著提高出光效率;三是有利于提高芯片工作電流密度。與其它襯底相比,硅襯底半導(dǎo)體照明外延材料,非常適合走剝離襯底薄膜轉(zhuǎn)移技術(shù)路線,而且硅材料比碳化硅和藍(lán)寶石要便宜很多,也容易得到大尺寸的襯底,這將顯著降低外延材料的生長(zhǎng)成本。

當(dāng)然GaN與Si 襯底之間存在熱失配、晶格失配等問(wèn)題,很容易出現(xiàn)龜裂現(xiàn)象,要在硅襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量的氮化鎵基LED確實(shí)是一個(gè)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。在這方面處于世界前列的晶能光電認(rèn)為,硅襯底LED照明暫未發(fā)現(xiàn)物理上的瓶頸,裂紋問(wèn)題可以通過(guò)圖形和平面襯底等方式解決,位錯(cuò)密度可以達(dá)到3-10×108cm2,且高電流密度下性能穩(wěn)定。

GaN/Si LED已走向市場(chǎng),前景看好。但是目前bonding用金價(jià)格偏高,有待尋找替代方案。其實(shí),SSL還有大量科學(xué)技術(shù)問(wèn)題沒(méi)有解決,所以無(wú)論是設(shè)備還是外延芯片,都是機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存。而且SSL技術(shù)進(jìn)步過(guò)快,這也給投資者帶來(lái)了難題,投資需要慎之又慎。

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