高科技產(chǎn)業(yè)整合解決方案供應(yīng)商亞智科技(Manz Asia Ltd.)推出了全新的光阻涂布設(shè)備 Manz Slit coater，該設(shè)備結(jié)合了德國Manz AG多年的自動(dòng)化傳輸及多軸控制驅(qū)動(dòng)技術(shù)，采用氣懸浮平臺(tái)控制技術(shù)進(jìn)行玻璃基板的傳輸與光阻涂布，可完全免除基板靜電及刮傷的問題。另外，Manz Slit Coater 以固定龍門進(jìn)行光阻涂布，與傳統(tǒng)Slit Coater 相比，精確性與穩(wěn)定性更高。亞智科技總經(jīng)理陳國平表示：“玻璃基板大尺寸化是未來的發(fā)展方向，期望在未來的‘大’競爭市場中立足，不能只依賴因?yàn)閿U(kuò)大基板尺寸帶來的成本降低所生產(chǎn)的競爭力，而是必須持續(xù)進(jìn)行相關(guān)技術(shù)的革新。”

全新的Manz Slit Coater應(yīng)用于平面顯示器Array段黃光生產(chǎn)制程的光阻涂布，它的開發(fā)導(dǎo)入了源自德國母公司Manz AG的核心技術(shù)，在自動(dòng)化傳輸及多軸同步控制驅(qū)動(dòng)技術(shù)方面運(yùn)用了氣懸浮平臺(tái)控制技術(shù)，這項(xiàng)技術(shù)原來應(yīng)用于薄膜太陽能電池生產(chǎn)的激光劃線設(shè)備。而多軸同步控制技術(shù)則來自于Manz SpeedPicker 六軸機(jī)械手臂控制系統(tǒng)。

“亞智科技專注于平面顯示器及觸控面板濕制程設(shè)備的研發(fā)與制造，擁有超過二十年的豐富經(jīng)驗(yàn)。來自Manz光伏領(lǐng)域先進(jìn)技術(shù)的共享，使Manz Slit Coater在大尺寸面板制造的強(qiáng)勁發(fā)展中更具競爭力。”陳國平解釋道。Manz AG首席執(zhí)行官Dieter Manz先生強(qiáng)調(diào)：“這也體現(xiàn)了Manz通過多樣化實(shí)現(xiàn)協(xié)同的戰(zhàn)略已經(jīng)卓見成效。”

傳統(tǒng)的Slit Coater是采用花崗巖平臺(tái)吸附基板，搭配單支或雙支機(jī)械手臂進(jìn)行放板和取板，利用移動(dòng)式的龍門進(jìn)行光阻涂布，不僅在傳輸過程中容易造成基板刮傷以及產(chǎn)生靜電，在生產(chǎn)大尺寸面板時(shí)產(chǎn)出效率慢，而且移動(dòng)式龍門的驅(qū)動(dòng)力造成的振動(dòng)，也會(huì)影響光阻涂布的均勻性及品質(zhì)。亞智科技全新推出的Manz Slit Coater，采用氣懸浮平臺(tái)控制技術(shù)，上下游并可直接搭載輸送機(jī)，無需機(jī)械手臂傳送，無基板刮傷和靜電問題。固定式龍門的涂布設(shè)計(jì)，強(qiáng)化了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度及動(dòng)力，還可配合大尺寸面板的需求設(shè)計(jì)，大幅地縮短節(jié)拍時(shí)間，提升生產(chǎn)效率?？偨?jīng)理陳國平還表示：“我們的創(chuàng)新技術(shù)能夠縮短總工程時(shí)間、降低成本，可大大提高企業(yè)的投資回報(bào)率，Manz Slit Coater具有極富吸引力的價(jià)格，將令制造商如虎添翼。”

Manz G2 Slit Coater應(yīng)用于觸控面板黃光生產(chǎn)制程的光阻涂布。

固定式龍門的涂布系統(tǒng)與氣浮輸送方式，可有效控制光阻涂布的均勻性及品質(zhì)，避免傳統(tǒng)輸送方式造成的基板損傷。

從2009年開始，亞智科技投入平面顯示器面板生產(chǎn)Array段的黃光制程設(shè)備開發(fā)，積極跨入干制程設(shè)備制造領(lǐng)域，進(jìn)行產(chǎn)品多樣化布局。目前亞智科技正在進(jìn)行針對高階LTPS面板生產(chǎn)制程的光阻涂布的開發(fā)，已進(jìn)行至實(shí)驗(yàn)機(jī)階段。全新雙龍門的設(shè)計(jì)，可快速進(jìn)行不同光阻材質(zhì)的涂布切換，減少待機(jī)。另外，搭配超硬合金材質(zhì)的刀嘴設(shè)計(jì)，更可大幅降低因涂布異常造成的涂刀損壞，并減少維護(hù)時(shí)間。另外，亞智科技位于蘇州的新工廠即將于2012年5月正式投入生產(chǎn)，屆時(shí)將得以更快的速度響應(yīng)用戶的需求，進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)產(chǎn)能。