造成了5000多人死亡的日本阪神大地震，對LSI及LCD產(chǎn)業(yè)的影響卻比較輕微。就連當(dāng)初公認受災(zāi)嚴重的KTI半導(dǎo)體、三菱電機及星電（Hosiden）也全部得以恢復(fù)。其主要原因不僅在于地震中受災(zāi)較輕，還在于恢復(fù)工作推進迅速。相關(guān)企業(yè)集中于附近是一大幸事。周邊附屬企業(yè)、裝置及材料廠商的支持為受災(zāi)廠商迅速恢復(fù)做出了貢獻。因此，在選擇生產(chǎn)及開發(fā)基地的地點時，不僅要考慮不會輕易發(fā)生災(zāi)害，而且還要考慮恢復(fù)時所需要的基礎(chǔ)設(shè)備是否完善，這是阪神大地震帶給我們的啟示。

1995年1月17日凌晨發(fā)生的阪神大地震，死亡人數(shù)超過5000人，給阪神地區(qū)的產(chǎn)業(yè)留下嚴重創(chuàng)傷。但幸運的是，LSI及LCD產(chǎn)業(yè)受到的影響較輕微（圖1，表1）。對此起到很大作用的事實有兩個。一是LSI及LCD相關(guān)廠商在地震中受到的災(zāi)害本身就很輕。另一個是恢復(fù)工作的迅速推進。吸取這次阪神震災(zāi)的教訓(xùn)，各廠商都采取了加強災(zāi)害對策的行動。

圖1：位于關(guān)西地區(qū)的LSI及LCD相關(guān)基地
圖中所示為阪神大地震（1995年1月）受災(zāi)地區(qū)及其附近的LSI及LCD相關(guān)生產(chǎn)及研發(fā)基地。KTI半導(dǎo)體是美國德州儀器（TI）和神戶制鋼所為制造LSI而共同出資成立的公司，Display Technology是東芝和IBM日本公司為制造LCD面板而共同出資成立的公司。（點擊放大）


震后受災(zāi)輕微

阪神大地震（1995年1月）后，最初也曾“有過生產(chǎn)線停工數(shù)月的思想準備”（某LSI大廠商的技術(shù)人員）。不過，正如有廠商稱“受災(zāi)輕微”（KTI半導(dǎo)體）一樣，實際上受災(zāi)都很輕（表1）。雖然這與LSI及LCD生產(chǎn)及研發(fā)基地離震源地較遠也有關(guān)系，但“建筑物及設(shè)備造得很結(jié)實”（三菱電機）發(fā)揮了巨大的作用。

首先，LSI相關(guān)設(shè)施有NEC關(guān)西、KTI的生產(chǎn)基地以及三菱的研發(fā)基地等。NEC關(guān)西的建筑物是以設(shè)想能抗烈度6級的關(guān)東大地震為標準建造的。而其在阪神大地震中為烈度5級，因此生產(chǎn)線本身并未受損。KTI只是曝光相關(guān)設(shè)備有一部分有位移，而建筑物未受絲毫損傷。而三菱北伊丹制作所，盡管其緊鄰的阪急電鐵伊丹站倒塌，但ULSI開發(fā)研究所U棟等建筑本身幾乎未受影響。而且材料廠商及裝置廠商也未遭受大的災(zāi)害，比如位于尼崎的住友Sitix“生產(chǎn)設(shè)備未受影響”，位于生野的三菱Material Silicon也表示“未停工”。


其次是LCD相關(guān)設(shè)施在阪神大地震中受災(zāi)較輕。離震源地最近的星電雖然經(jīng)歷了烈度6級的劇烈晃動，但設(shè)備及附屬裝置幾乎未受損。只是無塵室中有部分制造設(shè)備發(fā)生了移位。位于姫路的Display Technology（以下簡稱DTI），設(shè)備受損較輕，只是在震災(zāi)第二天上午對設(shè)備作了調(diào)整。

表1：阪神大地震（1995年1月）災(zāi)區(qū)及其附近的LSI和LCD相關(guān)生產(chǎn)及研發(fā)基地的受災(zāi)及恢復(fù)情況
綜合了地震剛剛發(fā)生后的受災(zāi)情況，以及截至1995年2月10日時的恢復(fù)情況或恢復(fù)預(yù)計。*1為100～150mm晶圓合計近1000枚。（點擊放大）


支援迅速實現(xiàn)快速恢復(fù)

不僅受災(zāi)輕微，而且復(fù)工之快也令人吃驚。大部分LSI廠商在1～2天內(nèi)便恢復(fù)了生產(chǎn)。被競爭廠商等“估計受災(zāi)最重”的三菱北伊丹制作所也順利恢復(fù)，2月13日以前部分生產(chǎn)線就重新開工。而裝置及材料廠商以及LCD廠商也最長只停工了1周時間。這些都得益于附近相關(guān)企業(yè)和設(shè)備及材料廠商的迅速支援。雖然交通網(wǎng)受損嚴重，但提供生產(chǎn)保障的廠商就在附近，這對迅速恢復(fù)起了很大作用。

從LSI相關(guān)廠商來看，NEC關(guān)西在地震發(fā)生第二天即1月18日的16時半就得以恢復(fù)。原因是從近鄰的相關(guān)企業(yè)及裝置廠商迅速更換了損壞的夾具。而KTI在幾天內(nèi)就完成了對設(shè)備移位的恢復(fù)工作，這也是得益于設(shè)備廠商的迅速援助。三菱也一樣，在地震剛剛發(fā)生后，就有多家設(shè)備廠商做好了從附近的工廠及服務(wù)網(wǎng)點派遣技術(shù)人員的準備。

在材料廠商中，晶圓廠商住友Sitix表示1月23日就全面恢復(fù)了生產(chǎn)?！翱上衿綍r一樣繼續(xù)供貨”（住友Sitix）。其他材料廠商也大多在1月18日就恢復(fù)了生產(chǎn)。但交通混亂仍使供應(yīng)略有延遲。而裝置廠商中，住友金屬工業(yè)表示員工同樣受交通混亂等影響推遲了上班時間，停工時間長達約1周。不過，裝置廠商的供貨間隔時間較長，因此普遍認為這一延遲的影響能夠得以挽回。

從LCD相關(guān)廠商來看，星電僅為了檢修及調(diào)整，生產(chǎn)線只停止了4～5天就恢復(fù)了生產(chǎn)。而且重新開工后起動順利。不過，在材料采購及供貨方面仍存在運輸手段無法立即恢復(fù)的問題。DTI只在地震第二天上午停止了生產(chǎn)線運轉(zhuǎn)，之后便恢復(fù)了生產(chǎn)。由于其出資方東芝提供了運輸?shù)暮笤Ｕ希虼瞬牧喜少徏肮┴泿缀跷窗l(fā)生延遲。

“別輕易更換工廠”


雖然阪神地震對LSI及LCD產(chǎn)業(yè)的影響較輕微，但多數(shù)觀點仍認為需要進一步加強災(zāi)害對策。此時，首先生產(chǎn)及研發(fā)基地設(shè)在何處就成了問題。阪神大地震對此提供的啟示是，不是簡單地將基地設(shè)在地震較少的地方，而是“要選擇能夠在受災(zāi)后迅速恢復(fù)的地點”（某LSI廠商的工廠負責(zé)人）。其次要考慮如何加強所設(shè)基地的震災(zāi)對策。在這一方面，計算機相關(guān)設(shè)施是阪神大地震中的盲點。

首先，關(guān)于工廠的設(shè)置地點問題。阪神大地震剛剛發(fā)生后，海外出現(xiàn)了認為將LSI及LCD等關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)的基地集中于容易發(fā)生大地震的日本“是個問題”的看法。尤其是LCD工廠幾乎都在國內(nèi)，因此成為了這種批評的“眾矢之地”（上述技術(shù)負責(zé)人）。但從阪神震災(zāi)來看，正因為生產(chǎn)基地都集中在國內(nèi)，才得以使受損部件等在鄰近的附屬公司、裝置及材料廠商得到了補充。在原料氣體等的供給上，也因為受災(zāi)地近鄰有多家氣體廠商，才使LSI廠商迅速實現(xiàn)了復(fù)工。比如，夏普福山工廠由于一直由大阪供應(yīng)原料氣體，因此在地震剛剛發(fā)生后出現(xiàn)了供應(yīng)停止的危險。而因該工廠在震后將供應(yīng)地換成了名古屋，因此“在恢復(fù)生產(chǎn)時氣體采購并未成為問題”（夏普專務(wù)董事井上弘）。

從上述情況來看，“生產(chǎn)基地最好能分多處較密集設(shè)置，并與設(shè)備及材料廠商在一起”（某LCD大廠商的技術(shù)負責(zé)人）。在國內(nèi)數(shù)處將工廠和裝置及材料廠商集中在一起，“建立能夠相互援助的體系是非常重要的”（NEC關(guān)西）。而海外基地雖然能夠起到分散風(fēng)險的作用，但在受災(zāi)時的恢復(fù)較為困難。[!--empirenews.page--]

互援體系對于強化物流等基礎(chǔ)設(shè)施尤為重要。在阪神大地震中，高速公路等的垮塌成了很大問題。如果因這種問題而切斷相互間的聯(lián)系，那么好不容易建立的互援體系就會失去意義。但這一問題無法只靠廠商的力量來解決。有人指出，“或許要向中央及地方政府提出完善基礎(chǔ)設(shè)施的要求”（某LSI廠商的工廠負責(zé)人）。

另外，認為向日本集中是個問題的觀點有許多偏頗之處。日本全境同時發(fā)生地震等災(zāi)害是很難想象的，而且災(zāi)害不只有地震，還包括火災(zāi)及事故等，不管基地設(shè)在什么地方，這些都有可能發(fā)生。從這此方面來考慮，也“應(yīng)該將基地設(shè)在（不易發(fā)生震災(zāi)，即使發(fā)生震災(zāi)及事故也）能夠迅速恢復(fù)的地方”（日本國內(nèi)某設(shè)備廠商）。

首先從力所能及之處做起


從各基地的地震對策來看，即便是在阪神大地震中沒有直接損失的東芝等，也很可能會重新制定地震對策。此次雖未出現(xiàn)問題，但今后首先要考慮涉及人命的對策，其次要從力所能及之處做起。而難以立即著手的根本對策，則會在投資擴建時考慮實施。在這方面，阪神震災(zāi)中暴露出來的計算機設(shè)施的盲點就是一大教訓(xùn)。

作為涉及人命的對策，可舉出“設(shè)置因地震房門無法打開時用于逃生的工具”（NEC關(guān)西）、“強化氣體泄漏對策并確保緊急疏散路徑，以防備氣體事故”（夏普、住友金屬）等。在特種氣體方面，三菱等在地震發(fā)生后立即關(guān)掉了氣體，因此沒有發(fā)生事故。而對于一般不會自動停止的城市燃氣，則有觀點指出也“應(yīng)該使其能夠自動停止”（NEC關(guān)西）。城市燃氣也存在引發(fā)氣體中毒及火災(zāi)的危險，因此今后在這方面采取對策尤為重要。

在能夠立即著手的對策中，重要的是強化落后于制造設(shè)備及無塵室的計算機及CAD室的地震對策。實際上，KTI就是在主機宕機后，改用德州儀器日本公司美浦工廠的計算機，才逃過一劫的。但日本國內(nèi)LSI大廠商中，有的企業(yè)聲稱“因?qū)⒂嬎銠C的處理能力用盡，根本無法改用其他工廠的計算機”。并且對開發(fā)而言，有觀點指出，因與試制生產(chǎn)線同等重要的CAD室的耐震設(shè)計不足，導(dǎo)致工作站部分受損。未受災(zāi)的夏普也表示，“今后重要的是強化計算機外設(shè)的地震對策”（夏普專務(wù)董事井上弘）。

另外，提高設(shè)備及夾具的抗震性也是目標。有觀點指出，由于阪神大地震是劇烈的橫向晃動，因此有些設(shè)備是因移位才最終防止機身破損的。不移位的話晃動就會直接傳遞到設(shè)備身上，但只要使設(shè)備在地板上滑動，“不發(fā)生大的晃動就不會有事”（某LSI大廠商的設(shè)備負責(zé)人）。但考慮到縱向晃動，則沒有移位更有望防止設(shè)備破損。原因是發(fā)生位移的話設(shè)備會被地板絆倒。采用什么方法來固定設(shè)備，是今后要討論的課題。在阪神震災(zāi)中傳送帶運載夾具破損嚴重。因此，采取了改進夾具本身及安裝方法以提高夾具抗震性的行動。

作為根本對策，很多LSI及LCD廠商為了在遭遇烈度7級地震時保證建筑及設(shè)備也不受損，將在增強產(chǎn)能時采取措施。而且有些廠商已開始開始了實際討論。 （本文為1995年日文報道的翻譯）