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[導(dǎo)讀]索尼開發(fā)出9.9英寸的柔性有機EL面板,這是一款像素為960×540的產(chǎn)品,像素間距為228μm,清晰度為111ppi,厚度為110μm。驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體非晶IGZO TFT。通過組合使用白色有機EL材料與RGBW4色彩色濾

索尼開發(fā)出9.9英寸的柔性有機EL面板,這是一款像素為960×540的產(chǎn)品,像素間距為228μm,清晰度為111ppi,厚度為110μm。

驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體非晶IGZO TFT。通過組合使用白色有機EL材料與RGBW4色彩色濾光片(CF)實現(xiàn)彩色顯示。有機EL元件的構(gòu)造采用從與TFT基板相反一側(cè)提取光的頂部發(fā)光型。色彩表現(xiàn)范圍NTSC規(guī)格比高達100%以上。

此次的開發(fā)品使用兩張在玻璃上貼有薄膜的基板制作而成。在一張基板上形成TFT和有機EL元件,另一張基板上形成彩色濾光片。將這兩張基板粘結(jié)后剝離玻璃,從而制成柔性面板。TFT、有機EL元件與彩色濾光片可采用與普通玻璃基板相同的制作工序,因此“在量產(chǎn)柔性有機EL面板時,這是一個比較實際的選擇”(索尼)。

非晶IGZO TFT采用普通的真空成膜與光刻技術(shù)制成。IGZO層通過濺射成膜,柵極絕緣膜(SiOx)通過PECVD成膜,TFT構(gòu)造為底柵型,為提高可靠性在半導(dǎo)體層上部設(shè)置了蝕刻阻擋層。載流子遷移率為13.4cm2/Vs,亞閾值擺幅(Subthreshold Swing)為0.2V/dec.,“與在玻璃基板上直接形成時基本相同”(索尼)。據(jù)索尼介紹,在將玻璃剝落前后,TFT特性沒有變化。

白色有機EL元件通過蒸鍍低分子材料形成。采用頂部發(fā)光構(gòu)造是“為了利用在有機EL電視、顯示屏和頭戴式顯示器用面板中積累起來的技術(shù)和經(jīng)驗”(索尼)。彩色濾光片采用普通的光刻技術(shù)制作,工藝溫度在100℃以下。

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