日本尼康研制的FX-75S(85S)LCD用曝光機(jī)，是液晶面板生產(chǎn)線中，薄膜晶體管光刻技術(shù)的核心設(shè)備。每臺(tái)占地面積11×15米，生產(chǎn)節(jié)奏為60秒每片。京東方8.5代線共采購(gòu)了16臺(tái)FX-85S曝光機(jī)，單臺(tái)價(jià)格估計(jì)接近2億元人民幣。

目前全球LCD曝光機(jī)市場(chǎng)被日本尼康和佳能壟斷，2009年Nikon出貨45臺(tái)，Canon出貨38臺(tái)。隨著中國(guó)LCD產(chǎn)業(yè)規(guī)模迅速擴(kuò)大，我國(guó)企業(yè)必須竭盡全力，在設(shè)備、原材料配套領(lǐng)域建立起自主體系。只有具備全產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭(zhēng)力的國(guó)家，才能在激烈的市場(chǎng)搏殺中，立于不敗之地。

從圖中可看出8.5代線傳送設(shè)備幅寬大于玻璃基板,10代線同樣如此，傳送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。

尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光裝置 FX-101S可小幅度改動(dòng)為第11世代液晶曝光裝置。

目前全球LCD曝光機(jī)市場(chǎng)被日本尼康和佳能壟斷，2009年Nikon出貨45臺(tái)，Canon出貨38臺(tái)。隨著中國(guó)LCD產(chǎn)業(yè)規(guī)模迅速擴(kuò)大，我國(guó)企業(yè)必須竭盡全力，在設(shè)備、原材料配套領(lǐng)域建立起自主體系。只有具備全產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭(zhēng)力的國(guó)家，才能在激烈的市場(chǎng)搏殺中，立于不敗之地。

從圖中可看出8.5代線傳送設(shè)備幅寬大于玻璃基板,10代線同樣如此，傳送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。

尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光裝置 FX-101S可小幅度改動(dòng)為第11世代液晶曝光裝置。