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[導(dǎo)讀]由日本名古屋大學(xué)工學(xué)部副教授大野雄高與阪東化學(xué)組成的研究團(tuán)隊(duì),利用柔版印刷技術(shù)試制出了柔性顯示器等用的碳納米管(CNT)TFT,獲得了高達(dá)112cm2/Vs的遷移率。并在2012年13日在日本愛(ài)媛大學(xué)舉行的“2012年秋

由日本名古屋大學(xué)工學(xué)部副教授大野雄高與阪東化學(xué)組成的研究團(tuán)隊(duì),利用柔版印刷技術(shù)試制出了柔性顯示器等用的碳納米管(CNT)TFT,獲得了高達(dá)112cm2/Vs的遷移率。并在2012年13日在日本愛(ài)媛大學(xué)舉行的“2012年秋季第73屆應(yīng)用物理學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)演講會(huì)”(2012年9月11~14日于)上發(fā)表(演講序號(hào):13a-C2-5)。

柔版印刷是凸版印刷的一種,其特點(diǎn)之一是使用橡膠版或光硬化樹(shù)脂制柔性版。該印刷技術(shù)要利用光硬化性等制成印刷圖案的圓輥狀凸版,并用表面為多孔狀的輥?zhàn)樱ňW(wǎng)紋輥)將水性油墨蘸在版上來(lái)印刷。印刷精度雖比凹版略低,但其處理量遠(yuǎn)高于絲網(wǎng)印刷及噴墨印刷。

大野等著眼于高處理量、低成本性以及與卷對(duì)卷方式的適應(yīng)性,利用柔版印刷技術(shù)試制了CNT-TFT。

整個(gè)工藝全部在常溫常壓條件下進(jìn)行,柵電極及源/漏電極使用銀納米粒子、柵絕緣膜使用亞胺樹(shù)脂、TFT的溝道層使用CNT。CNT圖案形成使用常壓下的氧(O2)等離子體,而為形成圖案的光刻膠層也是使用印刷技術(shù)形成的。

CNT系使用大野研究室正在開(kāi)發(fā)的氣相過(guò)濾干轉(zhuǎn)印法制造?;迨褂肞EN(聚萘二甲酸乙二醇酯)薄膜。印刷速度為6.6cm/秒。

試制的CNT-TFT的溝道長(zhǎng)度為115μm,載流子遷移率為112cm2/Vs,導(dǎo)通/截止比為104。載流子遷移率數(shù)值之高足可供顯示器驅(qū)動(dòng)TFT使用。(源自:《日經(jīng)電子》 記者:野澤哲生)

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