[導讀]來自德國的Azzurro成立于2003年，主要是提供新型態(tài)晶圓給功率半導體與LED廠商使用。AZZURRO擁有獨家專利氮化鎵上矽（GaN-on-Si）的技術，他們的方式是先在矽基板上長出以GaN材料為基礎的緩沖層(bufferlayer)，然后可
來自德國的Azzurro成立于2003年，主要是提供新型態(tài)晶圓給功率半導體與LED廠商使用。AZZURRO擁有獨家專利氮化鎵上矽（GaN-on-Si）的技術，他們的方式是先在矽基板上長出以GaN材料為基礎的緩沖層(bufferlayer)，然后可再依LED或功率半導體等產(chǎn)業(yè)的不同應用，于此晶圓上生成GaN薄膜。該公司指出，現(xiàn)階段已可以在6吋(150mm)的矽基板生成GaNonSi晶圓，甚至往8吋(200mm)挑戰(zhàn)，LEDinside預期這種新的制程，可有效解決現(xiàn)有LED生產(chǎn)設備轉(zhuǎn)移到矽基板LED制程的困難。
GaN-on-Si技術難點與成本節(jié)省效益
GaN-on-Si可說是lED產(chǎn)業(yè)近來熱門的話題，成熟度一直在提高，是未來發(fā)展的技術之一。不過，LEDinside分析，由于目前技術上的困難度聚焦在材料的熱膨脹系數(shù)與晶格錯位，因為矽基板和GaN的熱膨脹系數(shù)不同，在制程中會因為兩種材質(zhì)間的晶格錯位而產(chǎn)生應力，進而形成曲度(bow)、裂痕(crack)與薄膜厚度不均的問題。這些問題要克服有一定的難度，不是一般的LED廠商獨立可以完成，過去一直未能在LED業(yè)界整個廣泛應用，但如果能夠克服上述問題并且順利的在矽基板上生成Gan層的LED晶圓(外延片)，可以受惠于矽基板的傳導性佳優(yōu)點，屆時打造出來的LED，其產(chǎn)生的熱能少，有助于簡化LED應用產(chǎn)品上的散熱設計。LEDinside認為，此舉更能提高LED晶圓的均勻性與同質(zhì)性，使得波長更集中，大幅降低磊晶廠的后段檢測成本。根據(jù)Azzurro的說法，如果以6吋的Gan-onSi基板與藍寶石基板所生成的LED做比較，近期成熟技術來估算，前者的成本可以減少最高達75%，節(jié)省成本的效益明顯。
從Azzurro公布的GaNonSi晶圓數(shù)據(jù)來看，在150mm(6吋)的晶圓片時，其曲度標準差降低到僅為0.764%，相較于4吋藍寶石基板的1.1%，表現(xiàn)更顯優(yōu)異，而且還有機會再精進。
以成本考量來看，目前市場上2吋藍寶石基板價格約在USD7~8元，加上PSS制程的2吋基板價格則是16~18美元，而8吋矽基板的價格卻僅有USD3~4元。至燈泡成品端，Azzurro指出，如此一來，預期成本可節(jié)省約65%。
相較于藍寶石基板來說，使用矽基板，除了成本上的優(yōu)勢外，LED廠商能利用現(xiàn)有的矽晶圓制程技術，在切割等后段制程技術都能因應支援。
此外，生產(chǎn)復晶結(jié)構(gòu)LED(flipchipLED)時，矽晶材質(zhì)比藍寶石更易移除，生產(chǎn)周期不僅可顯著縮短，還能獲得更佳的良率。雖然藍寶石基板有良好的透光性，然而一旦LED廠商為了節(jié)省成本與生產(chǎn)時間，轉(zhuǎn)為考慮使用大尺寸基板下，矽基板就占有相當好的優(yōu)勢。
GaN-on-Si市場發(fā)展
Azzurro表示，觀察2012年GaN-on-Si市場發(fā)展，目前受限于大尺寸藍寶石基板生產(chǎn)與技術難以發(fā)展，6吋以上藍寶石基板價格也高，大多數(shù)LED廠商仍使用2吋與4吋的基板。然而，目前全球各國一線LED磊晶廠商皆在進行GaNonSi晶圓實驗階段，包括日亞化、三星、LGSiltron、晶電、三安等。其中，三星LED雖然在6吋藍寶石基板轉(zhuǎn)換上不如LGInnotek來的積極，但目前已經(jīng)在進行8吋GaNonSi晶圓實驗階段。除此之外，歐美廠商也于2012年加快6吋GaNonSi晶圓產(chǎn)線建立，量產(chǎn)階段完成后，性價比與發(fā)光效率更能達到雙贏。
目前Azzurro在德國廠區(qū)的產(chǎn)能，已經(jīng)達到每月5000片(約當二吋晶圓片)，6吋GaNonSi晶圓片產(chǎn)能則達到每月1,000片，未來會視市場與合作伙伴狀況，進行擴產(chǎn)
Azzurro看好臺灣擁有完整的LED產(chǎn)業(yè)供應鏈，予以特別重視，不僅于臺灣成立技術與客戶服務團隊，協(xié)助客戶制程轉(zhuǎn)換。Azzurro指出，與現(xiàn)有客戶的合作下，從調(diào)機至生產(chǎn)，僅花費16周的時間就可以順利完成。
LEDinside觀點
LEDinside認為，借由這種新技術的快速引進，對于LED產(chǎn)業(yè)而言，是降低成本與提高產(chǎn)能的新方法。同時，既有生產(chǎn)設備有機會加值轉(zhuǎn)換到新制程。長期來看，整體產(chǎn)出、單位成本都會繼續(xù)往下走，而市場的應用需求能否與何時可大幅增加，相信是未來最重要的出海口議題。
GaN-on-Si技術難點與成本節(jié)省效益
GaN-on-Si可說是lED產(chǎn)業(yè)近來熱門的話題，成熟度一直在提高，是未來發(fā)展的技術之一。不過，LEDinside分析，由于目前技術上的困難度聚焦在材料的熱膨脹系數(shù)與晶格錯位，因為矽基板和GaN的熱膨脹系數(shù)不同，在制程中會因為兩種材質(zhì)間的晶格錯位而產(chǎn)生應力，進而形成曲度(bow)、裂痕(crack)與薄膜厚度不均的問題。這些問題要克服有一定的難度，不是一般的LED廠商獨立可以完成，過去一直未能在LED業(yè)界整個廣泛應用，但如果能夠克服上述問題并且順利的在矽基板上生成Gan層的LED晶圓(外延片)，可以受惠于矽基板的傳導性佳優(yōu)點，屆時打造出來的LED，其產(chǎn)生的熱能少，有助于簡化LED應用產(chǎn)品上的散熱設計。LEDinside認為，此舉更能提高LED晶圓的均勻性與同質(zhì)性，使得波長更集中，大幅降低磊晶廠的后段檢測成本。根據(jù)Azzurro的說法，如果以6吋的Gan-onSi基板與藍寶石基板所生成的LED做比較，近期成熟技術來估算，前者的成本可以減少最高達75%，節(jié)省成本的效益明顯。
從Azzurro公布的GaNonSi晶圓數(shù)據(jù)來看，在150mm(6吋)的晶圓片時，其曲度標準差降低到僅為0.764%，相較于4吋藍寶石基板的1.1%，表現(xiàn)更顯優(yōu)異，而且還有機會再精進。
以成本考量來看，目前市場上2吋藍寶石基板價格約在USD7~8元，加上PSS制程的2吋基板價格則是16~18美元，而8吋矽基板的價格卻僅有USD3~4元。至燈泡成品端，Azzurro指出，如此一來，預期成本可節(jié)省約65%。
相較于藍寶石基板來說，使用矽基板，除了成本上的優(yōu)勢外，LED廠商能利用現(xiàn)有的矽晶圓制程技術，在切割等后段制程技術都能因應支援。
此外，生產(chǎn)復晶結(jié)構(gòu)LED(flipchipLED)時，矽晶材質(zhì)比藍寶石更易移除，生產(chǎn)周期不僅可顯著縮短，還能獲得更佳的良率。雖然藍寶石基板有良好的透光性，然而一旦LED廠商為了節(jié)省成本與生產(chǎn)時間，轉(zhuǎn)為考慮使用大尺寸基板下，矽基板就占有相當好的優(yōu)勢。
GaN-on-Si市場發(fā)展
Azzurro表示，觀察2012年GaN-on-Si市場發(fā)展，目前受限于大尺寸藍寶石基板生產(chǎn)與技術難以發(fā)展，6吋以上藍寶石基板價格也高，大多數(shù)LED廠商仍使用2吋與4吋的基板。然而，目前全球各國一線LED磊晶廠商皆在進行GaNonSi晶圓實驗階段，包括日亞化、三星、LGSiltron、晶電、三安等。其中，三星LED雖然在6吋藍寶石基板轉(zhuǎn)換上不如LGInnotek來的積極，但目前已經(jīng)在進行8吋GaNonSi晶圓實驗階段。除此之外，歐美廠商也于2012年加快6吋GaNonSi晶圓產(chǎn)線建立，量產(chǎn)階段完成后，性價比與發(fā)光效率更能達到雙贏。
目前Azzurro在德國廠區(qū)的產(chǎn)能，已經(jīng)達到每月5000片(約當二吋晶圓片)，6吋GaNonSi晶圓片產(chǎn)能則達到每月1,000片，未來會視市場與合作伙伴狀況，進行擴產(chǎn)
Azzurro看好臺灣擁有完整的LED產(chǎn)業(yè)供應鏈，予以特別重視，不僅于臺灣成立技術與客戶服務團隊，協(xié)助客戶制程轉(zhuǎn)換。Azzurro指出，與現(xiàn)有客戶的合作下，從調(diào)機至生產(chǎn)，僅花費16周的時間就可以順利完成。
LEDinside觀點
LEDinside認為，借由這種新技術的快速引進，對于LED產(chǎn)業(yè)而言，是降低成本與提高產(chǎn)能的新方法。同時，既有生產(chǎn)設備有機會加值轉(zhuǎn)換到新制程。長期來看，整體產(chǎn)出、單位成本都會繼續(xù)往下走，而市場的應用需求能否與何時可大幅增加，相信是未來最重要的出海口議題。
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