【SID】友達光電的32英寸有機EL面板，IGZO TFT采用7枚掩模制作

時間：2013-03-27 10:52:00

關(guān)鍵字： TFT 友達光電元件 INTERNATIONAL

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[導(dǎo)讀]友達光電（AU Optronics，AUO）在美國波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國際學(xué)會“SID 2012”上發(fā)表了32英寸有機EL面板的實現(xiàn)技術(shù) [論文序號：9.3]。該產(chǎn)品與在2011年10月舉行的“FPD International 2011”上展示的產(chǎn)品相同

友達光電（AU Optronics，AUO）在美國波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國際學(xué)會“SID 2012”上發(fā)表了32英寸有機EL面板的實現(xiàn)技術(shù) [論文序號：9.3]。該產(chǎn)品與在2011年10月舉行的“FPD International 2011”上展示的產(chǎn)品相同。像素為1920×1080，亮度為200cd/m^{2，對比度為100萬:1。

32英寸開發(fā)品的驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT。載流子遷移率為14.1cm^{2/Vs，閾值電壓約為1.4V,亞閾值擺幅為0.38V/dec.以下。

IGZO TFT構(gòu)造為底柵型，光掩膜數(shù)量為7枚，分別是（1）柵極電極（Al/Mo）、（2）通道層（IGZO）、(3）蝕刻阻擋層（SiOx）、（4）源漏電極（MoN/Al/MoN）、（5）保護膜（鈍化膜，SiOx/SiNx）、（6）陽極（ITO）、（7）Bank層（有機膜）。IGZO層的成膜采用DC濺射技術(shù)。友達光電開發(fā)IGZO TFT驅(qū)動的32英寸液晶面板時利用5枚掩模制作，此次為形成有機EL元件追加了掩模。

有機EL元件構(gòu)造采用從TFT基板側(cè)提取光的底部發(fā)光型。利用金屬掩模蒸鍍法分涂低分子型RGB三色發(fā)光材料形成彩色面板。
圖1：在“FPD International 2011”上公開的32英寸產(chǎn)品}}