推出低成本高產能的MOCVD設備，用于發(fā)光二極管、硅基氮化鎵生產

上海2013年3月14日電 /美通社/ -- 在下周即將舉行的 SEMIcon China 展會期間，中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）將正式發(fā)布多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備（MOCVD），并首次進入半導體照明市場。Prismo D-Blue™ MOCVD 設備可以實現(xiàn)復雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產，這些超薄層結構對于高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD 設備不僅具有精準的參數控制、全自動化處理和獨特的緊湊設計等特點，而且擁有高生產率、高產能和低成本投入，是 LED 芯片制造過程中必不可少的新一代 MOCVD 設備。

目前，中微已有 MOCVD 設備在國內一家著名的 LED 廠家運行。

硬件優(yōu)勢：中微具有自主知識產權的 MOCVD 設備可以容納多達4個反應器，每個反應器都可以獨立控制。這一創(chuàng)新設計可以實現(xiàn)卓越的生產靈活性。它也是該類設備中唯一帶有這一特性的產品，也就是說，中微的 MOCVD 設備可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質量，這是先進的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD設備在占地面積上也有相當的優(yōu)勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對于目前的 LED 芯片生產線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。

設備優(yōu)異，市場廣闊，時機成熟：進入半導體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。作為一個新興的創(chuàng)新領軍者，中微為全球半導體制造商提供了先進的工藝技術和設備。目前，中微已有超過200個刻蝕反應臺在亞洲16條國際領先的半導體生產線上運行。中微在硅技術上積累的豐富經驗和工藝知識，以及它嚴謹的研發(fā)協(xié)議和材料工程背景，造就了一系列半導體制造前端設備。現(xiàn)在，中微又將這些運用在了 Prismo D-Blue 的研發(fā)上。中微新的 LED 客戶還將受益于公司嚴格的供應商管理協(xié)議。

現(xiàn)在對于一個新的 MOCVD 設備制造商來說也是一個良好的發(fā)展時機，尤其對于研發(fā)和制造中心在上海的制造商來說。根據法國市場研究機構 Yole DevELopment 預測，到2017年，MOCVD 設備的市場規(guī)模預計將達到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導地位。燈泡價格將下跌，LED 照明將取代傳統(tǒng)白熾燈。燈泡變得更便宜，當然就意味著 LED 制造商能獲取的利潤更緊縮，這就使得設備制造商提高生產效率比以往任何時候都顯得尤為重要。中微的 MOCVD 設備具有極高的生產效率，在這樣的市場環(huán)境中則更顯其優(yōu)勢。

“進入半導體照明市場是公司發(fā)展策略中的一個重要組成部分，”中微資深副總裁兼 MOCVD 產品事業(yè)群總經理杜志游博士說，“我們專業(yè)的 MOCVD 技術團隊建立了一個優(yōu)勢明顯、極具靈活性的 MOCVD 平臺，它具有其獨特創(chuàng)新性，可以解決復雜技術和生產方面帶來的挑戰(zhàn)。能夠為客戶提供高產能低成本的技術，用于他們先進的 LED 器件制造，對此我們感到非常興奮?！?/P>

Prismo D-Blue具有卓越的工藝性能和生產效率：中微的 Prismo 機臺可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反應器結構的優(yōu)點可以使其加工靈活性達到最大化以外，Prismo D-Blue 在每個關鍵性能指標上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測試中，它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內和片與片之間的均勻性以及很好的重復性。這些結果都是在整個外延晶片加工的過程中未作任何工藝參數調整而得出的。外延晶片加工的過程對于反應腔室表面的條件、化學氣體環(huán)境、溫度轉換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達到持續(xù)的重復性確實有它獨到的一面。

在上述馬拉松測試中，Prismo D-Blue 從未發(fā)生過任何異常中斷，中微通過對工藝參數現(xiàn)場實時的監(jiān)控實現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復雜的軟件程序、先進的傳輸模塊、流程自動化和控制技術。這些同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業(yè)界廣為認可的技術。

Prismo D-Blue 還被進一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護。這對于一個發(fā)展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商來說是至關重要的。卓越的加工性能和正常可運行時間可以拉大服務之間的差距，而新穎的設計特點則能夠使得設備維護更加簡便易行。同時，自動化、可編程的維護程序使得反應腔開關操作更加安全、快捷、可預測并且不易出錯。

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項專利（包括授權和未授權專利）以保護其獨特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導體制造規(guī)則并完全符合 SEMI 標準。