設備商應用材料推出有助大尺寸和超高分辨率（UHD）液晶顯示和OLED顯示器生產(chǎn)的全新技術系統(tǒng)，符合消費者對屏幕性能、清晰度、色彩和明亮度的更高規(guī)格需求。新技術系統(tǒng)支持獨特的最佳化沉積技術，用于金屬氧化物TFT超高分辨率顯示器的高量產(chǎn)，可生產(chǎn)高分辨率顯示器所需的更小、更快的TFT面板。

應材資深副總裁暨全球客戶支持服務及成長市場總經(jīng)理阿里.沙勒普爾（Ali Salehpour）表示，嶄新的PVD 和PECVD系統(tǒng)能協(xié)助客戶轉換使用已驗證技術的金屬氧化物材料，加速顯示器產(chǎn)業(yè)的技術藍圖。我們與客戶密切合作開發(fā)這些解決方案，以符合他們對均勻度、微塵粒子控制和穩(wěn)定度挑戰(zhàn)的嚴格要求，并為客戶清除執(zhí)行時的障礙，特別是針對 OLED 電視方面的技術。并且可支持客戶不同的產(chǎn)品策略，將這些解決方案擴及不同的基板尺寸，以及為生產(chǎn)大尺寸電視或行動裝置節(jié)能屏幕提供不同的多重技術支持。

金屬氧化物TFT為可制造低功率、高分辨率的智能型手機、平板計算機及OLED TV的先進技術。未來4K2K電視機預計也將采用金屬氧化物TFT技術。

應用材料PVD和CVD系統(tǒng)均具備均勻度和微塵粒子控制技術，有助客戶提供高良率量產(chǎn)的全新顯示器。對于發(fā)展進程，應材大中華區(qū)總經(jīng)理郭怡之表示，目前臺灣與大陸面板廠都砸了很多投資在金屬氧化物TFT的開發(fā)，不過現(xiàn)在還是在技術開發(fā)階段，走矢量產(chǎn)還要一段時間。

應材AKT-PiVot DT PVD系統(tǒng)開發(fā)了8.5代和6代玻璃專用設備，可擴展應材專利之旋轉陰極陣列技術的運用范圍，提供經(jīng)驗證的最佳均勻度、同質性和低缺陷的金屬氧化物反應層沉積，以及金屬導線和像素電極特性。