美國吉時(shí)利（Keithley）儀器公司日前宣布授權(quán)FormFactor公司為吉時(shí)利半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀制造高性能參數(shù)測(cè)試探針卡。FormFactor公司所提供的探針卡將應(yīng)用于吉時(shí)利S600系列參數(shù)測(cè)試儀，進(jìn)行測(cè)量超低直流電流，以及對(duì)接觸半導(dǎo)體晶圓的PIN腳進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)直流參數(shù)測(cè)試。晶圓制造商和代工廠可以采用S600系列測(cè)試儀對(duì)用于組裝和封裝的晶圓進(jìn)行合格性檢測(cè)或工藝監(jiān)測(cè)。

FormFactor公司Takumi探針卡非常適合于吉時(shí)利最先進(jìn)的參數(shù)測(cè)試儀——S680型直流/射頻參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的相關(guān)應(yīng)用。S680是專門針對(duì)高級(jí)邏輯、存儲(chǔ)器、模擬IC電路的晶圓級(jí)參數(shù)測(cè)試而設(shè)計(jì)，它在一套測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)并行測(cè)試功能、高靈敏度直流測(cè)量、飛安級(jí)分辨率測(cè)量和高達(dá)40GHz的射頻s參數(shù)測(cè)量。該系統(tǒng)為65nm以上工藝節(jié)點(diǎn)的參數(shù)測(cè)量提供當(dāng)前業(yè)界最高的測(cè)試產(chǎn)能和最低成本。

S680是高靈敏度、高速信號(hào)測(cè)試的理想選擇。其設(shè)置信號(hào)前置放大器在測(cè)試頭上，能放大僅幾厘米長(zhǎng)的探針內(nèi)低電平信號(hào)，將放大后信號(hào)通過電纜傳輸?shù)较到y(tǒng)機(jī)柜內(nèi)的測(cè)試儀中進(jìn)行分析。本方法消除了一般情況下電纜和開關(guān)矩陣導(dǎo)致的速度與靈敏度損耗。利用8個(gè)通用通道將外部?jī)x器直接與探針連接在一起。

吉時(shí)利認(rèn)為FormFactor公司在苛刻工藝、微小尺寸PAD和微細(xì)間距應(yīng)用方面具備世界頂尖設(shè)計(jì)水平，在測(cè)試結(jié)構(gòu)和劃片線的特征尺寸日益縮小的情況下，以上應(yīng)用必須支持高性能的測(cè)量需求。

吉時(shí)利副總裁、商務(wù)經(jīng)理Mark Hoersten表示，“對(duì)FormFactor公司的授權(quán)表明吉時(shí)利決心繼續(xù)提供最新的探針卡與參數(shù)測(cè)試測(cè)量技術(shù)，并為客戶擴(kuò)大探針卡的可選數(shù)量。 FormFactor的探針卡體現(xiàn)了極高性能工藝，充分滿足當(dāng)前電子設(shè)備采用尺寸日益縮小的元件所帶來的精密測(cè)量挑戰(zhàn)?！?

FormFactor高級(jí)副總裁、研發(fā)與首席技術(shù)官Benjamin N. Eldridge表示，“將我們的Takumi參數(shù)測(cè)試平臺(tái)擴(kuò)展至吉時(shí)利的測(cè)試儀上，對(duì)于我們雙方客戶皆極具戰(zhàn)略意義，半導(dǎo)體廠商在將工藝移植到65nm以下節(jié)點(diǎn)的過程中，必須依靠測(cè)試公司提供最新測(cè)量技術(shù)。吉時(shí)利長(zhǎng)期以來在低電平直流半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域一直居創(chuàng)新技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者地位，與吉時(shí)利的緊密合作將推動(dòng)我們共同提高技術(shù)融合水平?！?