中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所日前宣布,由王曦研究員領(lǐng)導(dǎo)的SOI研究小組,在上海新傲科技有限公司研發(fā)平臺(tái)上,通過技術(shù)創(chuàng)新,制備出我國第一片8英寸鍵合SOI晶片,實(shí)現(xiàn)了SOI晶片制備技術(shù)的重要突破。
該研究小組過去建立了我國第一條高端硅基集成電路材料SOI晶圓片生產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)了4-6英寸SOI材料產(chǎn)業(yè)化,解決了我國SOI材料的“有無”問題,獲得國家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
該研究小組在面對(duì)國內(nèi)外集成電路技術(shù)向大直徑晶圓片升級(jí)換代的大趨勢(shì),又設(shè)立了攻關(guān)8英寸大直徑SOI晶圓片的課題。在開發(fā)過程中,該小組突破了清洗、鍵合、加固、研磨和拋光等一系列關(guān)鍵技術(shù)。通過改造現(xiàn)有設(shè)備,實(shí)現(xiàn)了8英寸硅片的旋轉(zhuǎn)式單片清洗工藝,并自主設(shè)計(jì)開發(fā)了大尺寸晶片鍵合平臺(tái),在此基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了8英寸晶片鍵合,且達(dá)到了對(duì)鍵合過程和鍵合質(zhì)量的實(shí)時(shí)監(jiān)控。通過對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造,還實(shí)現(xiàn)了鍵合晶片的加固。經(jīng)過大量的研磨工藝實(shí)驗(yàn),反復(fù)比較研磨過程粗磨、精磨工藝中砂輪轉(zhuǎn)速等工藝參數(shù)對(duì)晶片的影響,確定出較優(yōu)研磨工藝。隨后,在現(xiàn)有拋光工藝基礎(chǔ)上優(yōu)化拋光漿料配比,實(shí)現(xiàn)了8英寸SOI晶片的精細(xì)拋光。
8英寸SOI晶圓片的成功開發(fā),標(biāo)志著該研究小組已經(jīng)掌握了大尺寸鍵合SOI晶片制備的關(guān)鍵技術(shù),為大尺寸鍵合SOI晶片的產(chǎn)業(yè)化打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
在極大規(guī)模集成電路國家重大科技專項(xiàng)中,宏力半導(dǎo)體公司和華潤微電子等8英寸集成電路制造代工企業(yè)安排了8英寸SOI先進(jìn)電路的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,急需要本土化的8英寸SOI襯底材料配套。上海微系統(tǒng)所和上海新傲公司聯(lián)合開發(fā)的8英寸鍵合SOI晶圓片正是適應(yīng)了這些需求。
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港交所擬修改主板上市規(guī)則,以便利尚未有盈利或業(yè)績(jī)支持的先進(jìn)技術(shù)企業(yè)融資。港交所刊發(fā)有關(guān)特??萍脊旧鲜兄贫鹊淖稍兾募?,提議對(duì)《上市規(guī)則》進(jìn)行修訂,建議設(shè)立新渠道,以讓特??萍脊居诼?lián)交所主板上市,并就此征詢市場(chǎng)意見。新規(guī)...
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信息技術(shù)
新能源
硬件
根據(jù)交通運(yùn)輸部水運(yùn)科學(xué)研究院提出的智慧港口的概念,智慧港口是利用新一代信息技術(shù),將港口相關(guān)業(yè)務(wù)和管理創(chuàng)新深度融合,使港口更加集約、高效、便捷、安全、綠色,創(chuàng)新港口發(fā)展模式,實(shí)現(xiàn)港口科學(xué)可持續(xù)發(fā)展。
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智慧港口
信息技術(shù)
業(yè)務(wù)
在這篇文章中,小編將對(duì)CPU中央處理器的相關(guān)內(nèi)容和情況加以介紹以幫助大家增進(jìn)對(duì)CPU中央處理器的了解程度,和小編一起來閱讀以下內(nèi)容吧。
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CPU
中央處理器
晶圓
智原科技今日宣布其支持三星14納米LPP工藝的IP硅智財(cái)已在三星SAFE? IP平臺(tái)上架,提供三星晶圓廠客戶采用。
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晶圓
芯片
臺(tái)積電(TSMC)公布2022年第三季度業(yè)績(jī)。第三季度合并營收為6131.4億元新臺(tái)幣,上年同期為4146.7億元新臺(tái)幣,同比增長(zhǎng)47.9%,環(huán)比增長(zhǎng)14.8%;凈利潤2808.7億元新臺(tái)幣,上年同期新臺(tái)幣1562.6億...
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臺(tái)積電
晶圓
先進(jìn)制程
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沙特阿拉伯國際多元化企業(yè)阿吉蘭兄弟控股集團(tuán)與中國知名醫(yī)藥智能化解決方案供應(yīng)商上海健麾信息技術(shù)股份有限公司近日宣布,雙方已簽署了合作協(xié)議,將共同出資在利雅得成立合資公司。合資公司將充分整合集團(tuán)與健麾信息的產(chǎn)業(yè)及戰(zhàn)略資源,打...
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自動(dòng)化
信息技術(shù)
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上海2022年9月29日 /美通社/ -- "縱橫二十,天地交通",交大安泰EMBA項(xiàng)目迎來創(chuàng)立20周年。從2002年到2022年,伴隨中國經(jīng)濟(jì)發(fā)展,中國EMBA教育,也走過了探索的20年,從跟跑、并...
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數(shù)字化
MIDDOT
DNA
信息技術(shù)
東方略新型重組IgM型廣譜抗新冠單克隆中和抗體項(xiàng)目ABC-5100的CMC開發(fā)工作于9月28日正式啟動(dòng)。ABC-5100由北京東方略生物和中科院微生物所聯(lián)合開發(fā),具有廣譜抗新冠病毒的潛力。ABC-5100有望成為全球第一...
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中科院
濟(jì)南2022年9月27日 /美通社/ -- 近日,浪潮卓數(shù)正式通過資質(zhì)審核,獲批成為全國信息技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(以下簡(jiǎn)稱信標(biāo)委)大數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)工作組全權(quán)成員單位,參與大數(shù)據(jù)領(lǐng)域國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)劃及制定工作。 全...
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大數(shù)據(jù)
信息技術(shù)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
數(shù)據(jù)安全
(全球TMT2022年9月27日訊)近日,浪潮卓數(shù)正式通過資質(zhì)審核,獲批成為全國信息技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)大數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)工作組全權(quán)成員單位,參與大數(shù)據(jù)領(lǐng)域國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)劃及制定工作。 全國信息技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化...
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大數(shù)據(jù)
信息技術(shù)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)化管理
據(jù)業(yè)內(nèi)消息,近日中芯國際投資超75億的12英寸晶圓生產(chǎn)線的項(xiàng)目在天津西青開工建設(shè)。
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中芯國際
12英寸
晶圓
9月25日6時(shí) 55分,我國在太原衛(wèi)星發(fā)射中心使用快舟一號(hào)甲運(yùn)載火箭,以“一箭雙星”方式,成功將試驗(yàn)十四號(hào)和試驗(yàn)十五號(hào)衛(wèi)星發(fā)射升空,衛(wèi)星順利進(jìn)入預(yù)定軌道,發(fā)射任務(wù)獲得圓滿成功。
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衛(wèi)星
量子通信
中科院
可能對(duì)于很多朋友來說,你那臺(tái)采用14納米工藝的電腦CPU還在工作著,但現(xiàn)在芯片已經(jīng)開始邁向2納米。在芯片的制造工藝上,似乎芯片制造商并沒有選擇停下腳步,近日臺(tái)積電方面就表示,其2納米工藝將會(huì)在2024年實(shí)現(xiàn)試產(chǎn),在202...
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2納米
中科院
臺(tái)積電
(全球TMT2022年9月20日訊)中國國際信息通信展覽會(huì)(簡(jiǎn)稱"通信展"或"PT展")是工信部主辦的信息通信技術(shù)(ICT)綜合展覽會(huì),已經(jīng)擁有超過三十年的歷史。第三十一屆PT展將于11月23-25日在北京國家會(huì)議中心...
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信息通信
ICT
信息技術(shù)
電子
上海2022年9月14日 /美通社/ -- 9月1-3日,2022世界人工智能大會(huì)在上海盛大召開,本屆大會(huì)以“智聯(lián)世界 元生無界”為主題,旨在充分把握人工智能與元宇宙相融互促的發(fā)展趨勢(shì),連接匯聚世界人工智能最新觀點(diǎn)和成果...
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人工智能
可持續(xù)發(fā)展
信息技術(shù)
ISO
北京2022年9月9日 /美通社/ -- 9月8日,由中央廣播電視總臺(tái)和山東省人民政府聯(lián)合舉辦的"好客山東 好品山東"宣傳推介活動(dòng)在北京舉行。浪潮集團(tuán)黨委書記、董事長(zhǎng)鄒慶忠作為"好...
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智能制造
BSP
COM
信息技術(shù)
濟(jì)南2022年9月7日 /美通社/ -- 日前,國務(wù)院印發(fā)《關(guān)于支持山東深化新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換推動(dòng)綠色低碳高質(zhì)量發(fā)展的意見》,進(jìn)一步明確山東推動(dòng)綠色低碳高質(zhì)量發(fā)展方向。浪潮作為新一代信息技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè),正全力用數(shù)字技術(shù)...
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數(shù)據(jù)中心
信息技術(shù)
智能光伏
光伏逆變器
(全球TMT2022年9月6日訊)近日,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司與中國—東盟信息港股份有限公司達(dá)成生態(tài)合作伙伴框架協(xié)議,雙方將基于各自在數(shù)字經(jīng)濟(jì)和數(shù)字產(chǎn)業(yè)中的資源優(yōu)勢(shì),通過平臺(tái)合作與資源共享的方式在業(yè)務(wù)領(lǐng)域...
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信息技術(shù)
數(shù)據(jù)管理
組件
數(shù)字平臺(tái)
北京2022年9月6日 /美通社/ -- 近日,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“軟通動(dòng)力”)與中國—東盟信息港股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中國東信”)達(dá)成生態(tài)合作伙伴框架協(xié)議,雙方將基于各自在數(shù)字經(jīng)濟(jì)和數(shù)字產(chǎn)...
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全棧
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數(shù)字化
北京2022年8月29日 /美通社/ -- 近年來,信息安全問題頻頻出現(xiàn),很多企業(yè)都遭受了無法挽回的損失,其主要原因就是忽視了服務(wù)器硬件和固件級(jí)別的安全性,因此強(qiáng)化服務(wù)器的安全性至關(guān)重要。近日,浪潮M6服務(wù)器的帶外管理模...
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信息安全
數(shù)據(jù)中心
網(wǎng)絡(luò)安全
信息技術(shù)