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[導讀]12月6~8日于美國舊金山舉行的2010年IEEE國際電子元件會議(International Electron Device Meeting,IEDM),呈現(xiàn)了三個顯著的主題趨勢:首先,與技術相關的論文數(shù)量減少;其次,業(yè)界對于未來制程節(jié)點的下一代電晶體架

12月6~8日于美國舊金山舉行的2010年IEEE國際電子元件會議(International Electron Device Meeting,IEDM),呈現(xiàn)了三個顯著的主題趨勢:首先,與技術相關的論文數(shù)量減少;其次,業(yè)界對于未來制程節(jié)點的下一代電晶體架構仍缺乏共識;第三,盡管有一大堆新奇的技術冒出頭,芯片制造商還是堅持認為經(jīng)濟學與成本才是他們決定未來電晶體與制程技術的推手。

在過去,眾家晶片制造商競逐摩爾定律(Moore’sLaw)與先進制程技術的開發(fā),也因此在IEDM上會有大量相關論文發(fā)表;而今日,先進晶片制造商越來越少,也導致今年該會議論文數(shù)大幅減少。IEDM大會主席、來自臺積電(TSMC)的MeikeiIeong在會議期間表示:"我并沒有看到論文數(shù)量有回升的趨勢。"

IEDM論文數(shù)量減少也可能有其他原因;過去先進晶片制造商的態(tài)度較為開放,也常愿意針對即將問世的新技術提供暗示;例如IBM、英特爾(Intel)、東芝(Toshiba)、臺積電與聯(lián)電(UMC)等廠商,都會投稿大量論文發(fā)表其最新、最厲害的制程開發(fā)成果。

在今年的會議上,僅有少量論文提供了晶片供應商下一步發(fā)展的線索;許多先進晶片制造商的態(tài)度都轉趨謹慎,也不想把技術發(fā)展方向透露給對手知道。今年IEDM上發(fā)表的論文以學術性質居多,或是在細節(jié)上透露不多,讓部分參加者不太滿意。

不過在今年的IEDM上,還是有不少傳言討論先進數(shù)位晶片制造商可能會在22/20奈米節(jié)點的電晶體架構上可能會采取的策略方向;大多數(shù)業(yè)界人士相信,先進晶圓代工廠可能會延長使用bulkCMOS制程技術。

其中有不少猜測是針對英特爾而來,有人認為該公司將延長使用bulkCMOS技術,其他人則認為該公司會采用全空乏(fully-depleted)──或稱超薄絕緣上覆矽(extrathinSOI);還有一個消息來源甚至指出,英特爾打算在22奈米或15奈米制程節(jié)點采用三閘(tri-gate)架構。

其他候選技術還包括采用矽穿孔(through-siliconvias,TSV)技術的3D晶片制程,這是不需依賴半導體制程的技術,而如果晶片制造商能夠達成以合理成本量產(chǎn)矽穿孔3D晶片,該技術可能會成為半導體制程發(fā)展藍圖中半途殺出的程咬金。

目前,先進晶片制造商在32/28奈米節(jié)點所采用的,是傳統(tǒng)bulkCMOS制程與平面架構的電晶體;但顯然:"對于20奈米節(jié)點到底將會是哪種電晶體出線,業(yè)界仍存在著憂慮。"市場研究機構VLSIResearch執(zhí)行長G.DanHutcheson表示:"在電晶體架構方面,較安全的賭注是將傳統(tǒng)CMOS技術延伸使用到下一個世代。"

SemicoResearch的分析師JoanneItow也同意以上節(jié)點,其理由是基于成本;Itow表示,試圖在22/20奈米節(jié)點轉用新奇的電晶體架構,不但代價太昂貴、風險也太高。只是,究竟晶片制造商還能把目前的bulkCMOS技術延伸使用多久,還是個未知數(shù)。

在22/20奈米節(jié)點之后,對于預期在2013年問世的16奈米邏輯制程節(jié)點之實際電晶體架構,晶片制造商之間的共識非常?。荒壳芭_面上也有不少候選技術,包括三五族半導體(III-V)、bulkCMOS、FinFET、全空乏SOI、多閘極(multi-gate)等等。

至于還有更遠一段距離的16奈米以下制程節(jié)點,可能采用的技術范圍更是完全開放,除了現(xiàn)有的技術,還有其他各種新奇的架構,例如三五族半導體、碳奈米管、石墨烯(graphene)、量子阱(quantumwell)FET等等。

 

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