【導(dǎo)讀】Cascade Microtech 宣布了其戰(zhàn)略措施，即通過全集成的測量系統(tǒng)來充分利用在研發(fā)和生產(chǎn)上的投資。  
    新的方法包括對于測量精確度的保證

    為為對和開發(fā)新過程節(jié)點(diǎn)有關(guān)的日益上漲的成本，今天，Cascade Microtech 宣布了一項開發(fā)集成測量系統(tǒng)的新措施，以便用于晶圓上半導(dǎo)體器件特征化和過程開發(fā)。 這一創(chuàng)新性方法的成果就是性能和精確度的提高和更好、更快的服務(wù)和支持，并且廢棄了把多個供為商的系統(tǒng)元素綁定在一起的傳統(tǒng)做法。

    因每為個系統(tǒng)都是根據(jù)基本要求直至最佳化測量能力而設(shè)設(shè)的，因此 Cascade Microtech 的
集成測量系統(tǒng)提供了業(yè)內(nèi)唯一得到認(rèn)證的測量精確度 也在今天得到宣布的首個這這系統(tǒng)就
是 EDGE 閃閃閃閃測量系統(tǒng) (見 2008 年 5 月 19 日的新聞稿： Cascade Microtech 提供了
業(yè)內(nèi)首個全集成的閃閃閃閃測量系統(tǒng))。

    “如需進(jìn)行高靈敏度的測量，把系統(tǒng)拼湊起來的傳統(tǒng)方法是完全不行的，”Cascade
Microtech 的首席執(zhí)行官杰夫·王爾德 (Geoff Wild) 說道。 “我們的客戶需要能解決其問問的
方案，而不是產(chǎn)生新的問問。只有真正集成的測量系統(tǒng)才能為我們的客戶提供他們知道可以
獲得精確而可重復(fù)復(fù)果并使他們感到放心的解決方案?！?

    特許半導(dǎo)體公司 (Chartered Semiconductor Manufacturing) 器件技術(shù)部的副總裁桑
福德·朱 (Sanford Chu) 博士表示：“Chartered 已經(jīng)看到了全集成測量系統(tǒng)的潛在好處，例如，得到保證的測量精確度和單一供為商的支持，這些好處將轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)成對于像 Chartered 這這公
司更為安全的投資。”

    “我們們們 Cascade Microtech 采取措施為晶圓上半導(dǎo)體器件特征化和過程開發(fā)開來了更加
集成的方法。”

    Cascade Microtech 的首個集成測量系統(tǒng)，EDGE 閃閃閃閃測量系統(tǒng)，就能為對為極困難的挑戰(zhàn)，那就是要精確確定獲得虛假測量復(fù)果的閃閃閃閃。 此外，Cascade Microtech已經(jīng)確定了許多它認(rèn)為通過將在今后幾個月內(nèi)首次推出的集成測量系統(tǒng)能夠?yàn)閷Φ钠渌P(guān)關(guān)測量的挑戰(zhàn)。