18寸晶圓議題可能會(huì)繼續(xù)沉寂5~10年…也許它會(huì)起死回生，端看半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者是否達(dá)成共識(shí)。

在短短幾年前還在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界被熱烈討論的18寸(450mm)晶圓，似乎失去了背后的推動(dòng)力，至少在目前看來(lái)如此。“18寸晶圓議題可能會(huì)繼續(xù)沉寂5~10年;”市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)VLSI Research的執(zhí)行長(zhǎng)暨資深半導(dǎo)體設(shè)備分析師G. Dan Hutcheson表示：“也許它會(huì)起死回生，端看半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者是否會(huì)達(dá)成共識(shí)。”

一個(gè)參與者包括英特爾(Intel)、臺(tái)積電(TSMC)、Globalfoundries、IBM、三星(Samsung)以及美國(guó)紐約州立大學(xué)理工學(xué)院(SUNY Polytechnic Institute)的研發(fā)專案Global 450 Consortium (G450C)，已經(jīng)在去年底悄悄地逐漸停止運(yùn)作，成員廠商的結(jié)論是目前的時(shí)機(jī)不適合邁入可選擇的第二階段計(jì)畫(huà)。

“所有的夥伴們都贊同，這并不是一個(gè)適合持續(xù)專注于18寸技術(shù)的時(shí)機(jī);”紐約州立大學(xué)理工學(xué)院的聯(lián)盟與專案計(jì)畫(huà)助理副總裁Paul Kelly接受EE Times采訪時(shí)表示：“但是大家都說(shuō)G450C專案本身仍然是成功了。”

在最近于美國(guó)舉行的SEMI年度產(chǎn)業(yè)策略高峰會(huì)(Industry Strategy Symposium)上，幾乎沒(méi)人提起18寸晶圓;但不過(guò)在幾年前，包括G450C成員在內(nèi)的主要晶片廠商都積極推動(dòng)18寸晶圓設(shè)備能最快在2018年就能于晶圓廠裝機(jī)。

但Hutcheson指出，18寸晶圓面臨的最大障礙就來(lái)自于晶片設(shè)備業(yè)者，他們到目前為止仍對(duì)2000年初產(chǎn)業(yè)界轉(zhuǎn)移至12寸晶圓時(shí)經(jīng)歷的艱辛記憶猶新;他表示，此時(shí)若推動(dòng)更大尺寸晶圓、大量減少產(chǎn)業(yè)界的單位需求量，會(huì)讓設(shè)備業(yè)者的生意受損：“設(shè)備業(yè)者就是不想要再經(jīng)歷一次轉(zhuǎn)換至12寸晶圓時(shí)的痛苦。”

Hutcheson表示，產(chǎn)業(yè)界一開(kāi)始推動(dòng)18寸晶圓，是因?yàn)橄嘈女?dāng)半導(dǎo)體業(yè)者再也無(wú)法跟上摩爾定律(Moore’s Law)，會(huì)要一種替代方案來(lái)提升銷售額;但顯然摩爾定律還沒(méi)走到盡頭：“目前的狀況是制程微縮反而讓晶片市場(chǎng)成長(zhǎng)趨緩。”

過(guò)去幾年，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界成長(zhǎng)腳步停滯，不需要像以前那樣大量擴(kuò)充產(chǎn)能;沒(méi)有了對(duì)更大尺寸晶圓的充分需求，興建18寸晶圓廠意味著晶片業(yè)者得先讓12寸晶圓廠除役：“18寸技術(shù)陷入僵局的原因是，那是一個(gè)仍然距離太遙遠(yuǎn)的世代。”

半導(dǎo)體設(shè)備大廠應(yīng)材(Applied Materials)的一位發(fā)言人表示，該公司已經(jīng)暫緩18寸晶圓計(jì)畫(huà)，因?yàn)檫^(guò)去幾年產(chǎn)業(yè)界對(duì)該技術(shù)的興趣逐漸消退：“我們轉(zhuǎn)而專注于利用新一代材料與元件架構(gòu)，協(xié)助我們的客戶推動(dòng)創(chuàng)新;我們將持續(xù)觀察18寸技術(shù)的進(jìn)展，以及該如何給予我們的客戶最好的支援。”

紐約州立大學(xué)理工學(xué)院的Kelly強(qiáng)調(diào)，G450C專案的宗旨就是以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度判斷轉(zhuǎn)移18寸晶圓是否在技術(shù)上可行;在這方面，他認(rèn)為G450C徹底成功：“所有的成員都感到滿意，他們能在必要的時(shí)候轉(zhuǎn)移至18寸技術(shù)。”

Kelly指出，除了證明18寸晶圓技術(shù)是可行的，G450C聯(lián)盟成員也達(dá)成了其他有價(jià)值的進(jìn)展，包括建立了無(wú)凹槽(notchless)晶圓片標(biāo)準(zhǔn);而該聯(lián)盟成員終究還是認(rèn)為，目前的時(shí)機(jī)不適合將G450C推進(jìn)第二階段：“成員們決定，將會(huì)在感覺(jué)必要的時(shí)候重新啟動(dòng)相關(guān)工作。”