新華社今日上午專電　日本科學(xué)家近期開發(fā)出精密尺子，能測量出100納米的長度，刷新了此前只能測量240納米的尺子精確度紀(jì)錄。 　　據(jù)日本《每日新聞》近日報道，日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所歷時3年，投入大約5億日元（約合500萬美元）經(jīng)費，研制出了這種號稱世界上現(xiàn)有最精確的尺子。這種尺子以硅為原料，可以作為掃描電子顯微鏡的部件，有望為納米數(shù)量級的精確測量奠定基礎(chǔ)。 　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，需要用掃描電子顯微鏡檢測電路的寬度是否符合設(shè)計要求。雖然日本生產(chǎn)的掃描電子顯微鏡在世界市場將近5億美元銷售總額中占據(jù)70％，但隨著世界各大半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商不斷提高集成度，開發(fā)更精密的測量儀器成為市場需求趨勢。 　　日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所打算先向國內(nèi)測量儀器制造商提供新產(chǎn)品的樣本，驗證其性能，2006年把投入實際應(yīng)用，繼而在2007年研制出最小能精確測量25納米的尺子。