美國模擬器件公司(ADI)日前發(fā)布了3軸運動檢測微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)。該3軸iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技術(shù)能將包含薄的、魯棒性運動傳感器和先進的信號調(diào)理電路的非常小的低功耗3軸(XYZ)加速度計集成在一顆低功耗芯片上。帶有2軸和3軸MEMS運動傳感器的移動電話和其它便攜式設(shè)備都能對位置、方向和運動做出智能地響應(yīng)。對于要求產(chǎn)品使用方便并且比較有趣的客戶，現(xiàn)在可以通過手勢而不是復(fù)雜的鍵盤來控制。其應(yīng)用范圍覆蓋各種可能的應(yīng)用，從游戲機接口、交互式地圖和步數(shù)器到很少見的功能，例如保護對沖擊敏感的部件(硬盤驅(qū)動器)以及通過智能管理功耗功能延長電池壽命。ADI公司副總裁兼微機械產(chǎn)品部總經(jīng)理Bill Giudice表示：“在1998年，ADI公司曾經(jīng)率先推出了用于消費類產(chǎn)品運動和傾斜檢測的ADXL202，它是第一個用于視頻游戲控制器的低g單芯片雙軸加速度計，現(xiàn)在ADI公司的iMEMS Motion Signal ProcessingTM技術(shù)可用于包括網(wǎng)絡(luò)計算機、蜂窩電話、健康設(shè)備和運動設(shè)備等整個消費類應(yīng)用?！蓖ㄟ^將專利設(shè)計和制造技術(shù)與經(jīng)過現(xiàn)場認證的iMEMS技術(shù)相結(jié)合，3軸加速度計具有能夠同時檢測X,Y和Z軸加速度創(chuàng)新的MEMS傳感器結(jié)構(gòu)并且在一顆芯片上集成了帶有先進的信號調(diào)理電路的傳感器。自從1993年以來，采用ADI公司的iMEMS技術(shù)已經(jīng)生產(chǎn)出1.8億片加速度計，從而證明了ADI公司對大批量消費類產(chǎn)品OEM客戶易變要求的快速反應(yīng)能力。低g加速度計發(fā)展路線圖滿足了便攜式消費類設(shè)備對減小印制電路板(PCB)面積，降低功耗，提高沖擊靈敏度和提高溫度穩(wěn)定性的要求，首款3軸加速度計產(chǎn)品采用小型4mm×4mm×1.45mm容易使用的面貼封裝。自從ADXL202推出以來，ADI公司為特別注意價值的消費類市場不斷優(yōu)化低g運動信號處理技術(shù)。其中2軸ADXL311加速度計是用于大批量產(chǎn)品(例如筆記本計算機)的首款MEMS加速度計。在2004年，2軸ADXL320加速度計為多種便攜式應(yīng)用建立了新的標(biāo)準(zhǔn)，它實現(xiàn)了小型薄封裝、低功耗和超高性能的完美結(jié)合。隨著對2軸運動和傾斜檢測的不斷發(fā)展，3軸檢測加速度計由于會更進一步擴展設(shè)計工程師的選擇必將加速MEMS技術(shù)的廣泛采用。