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[導讀]SCI(Scientific Computing International)公司生產(chǎn)的FilmTek薄膜特性測量儀器首次成功地實現(xiàn)了在中國大陸的銷售。繼向中國大陸售出多套模擬軟件FilmWizard之后,總部位于美國加州的SCI(Scientific Computing Interna

SCI(Scientific Computing International)公司生產(chǎn)的FilmTek薄膜特性測量儀器首次成功地實現(xiàn)了在中國大陸的銷售。繼向中國大陸售出多套模擬軟件FilmWizard之后,總部位于美國加州的SCI(Scientific Computing International)公司近日首次獲得來自中國大陸客戶的FilmTek2000PAR型膜厚測量儀訂單。該儀器通過光學方法測量反射光獲得薄膜的相關信息,如功率譜密度,Rs 及Rp等,與SCI研發(fā)的軟件擬合出電介質(zhì)函數(shù),最后進行優(yōu)化算法。該儀器采用240nm-860nm波段范圍的光源,進行非接觸測量,通過FilmTek2000PAR軟件數(shù)據(jù)擬合,可同步獲得0度入射的反射率,薄膜厚度, N值,K值,能帶隙,組份,結(jié)晶度,表面粗糙度等參數(shù)。據(jù)透露,該公司FilmTek系列 (FilmTek 1000,2000,3000,4000) 儀器還可廣泛適用于測量半導體 (包括 300mm 硅片), LCD, OLED和電介質(zhì)材料, 鍍膜玻璃, 光學抗反薄膜, 多層光學薄膜,電光材料,激光腔鏡, 金屬薄膜, 光盤等。
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