隨著科技的發(fā)展,電子產(chǎn)品也日益智能化,這離不開IC和MEMS的支持。IC主要對數(shù)據(jù)和信息進行分析、計算和處理,而MEMS則具有更多執(zhí)行功能,用來響應(yīng)和執(zhí)行IC的具體指令。
MEMS主要具有兩大功能,一是反映運行中的機器狀態(tài),以便IC能夠及時處理,另一功能則是接受和執(zhí)行來自IC的數(shù)據(jù)指令,實現(xiàn)運行控制。MEMS發(fā)展也十分迅猛,產(chǎn)品種類眾多,應(yīng)用廣泛。
一般如MEMS麥克風(fēng)、全硅振蕩器、MEMS陀螺儀等都能夠感應(yīng)機器狀態(tài)并進行反饋。而MEMS傳感器應(yīng)用更為廣闊,能夠?qū)Χ喾N對象,如重量、聲音、光、氣味、運動、位置和方向以及力、電、磁、化學(xué)成份等進行感知。同時隨著MEMS傳感器的應(yīng)用,很多產(chǎn)品體積更加小巧,性能和靈敏度提升。MEMS使得醫(yī)療儀器有更大突破,如可以精確稱量細胞重量,MEMS陀螺儀則使手機等產(chǎn)品發(fā)生了重大變革,MEMS慣性感測器、MEMS加速計等則在汽車安全中有著重要應(yīng)用。
而噴墨打印機的打印頭,新型顯示器的MEMS數(shù)字微快門,液體控制中的微流控制器、微型設(shè)備中的MEMS微型執(zhí)行器、MEMS制動器、MEMS微型機電、微型發(fā)電機、心臟起搏器、智能假肢等產(chǎn)品,則主要用于實現(xiàn)第二種功能,即接受和執(zhí)行來自IC的數(shù)據(jù)指令,實現(xiàn)運行控制。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,產(chǎn)品更加智能,人們的生活也因此更加智能。