電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化（EDA）軟件工具廠商Synopsys推出了具備工藝識(shí)別功能的可制造性設(shè)計(jì)(DFM)新系列產(chǎn)品PA－DFM，用于分析45納米及以下工藝定制/模擬設(shè)計(jì)階段的工藝變異的影響。隨著工藝尺寸的日益減小，先進(jìn)硅技術(shù)將引起更多如應(yīng)力工程的變異問(wèn)題，這將越來(lái)越影響電路的性能。Synopsys PA-DFM系列的核心產(chǎn)品Seismos 和 Paramos 可將制造變異信息反標(biāo)回設(shè)計(jì)階段，幫助定制IC（IP、標(biāo)準(zhǔn)單元、存儲(chǔ)器和模擬線路）的設(shè)計(jì)人員優(yōu)化布局并最大限度提高成品率。該產(chǎn)品系列是Synopsys幫助客戶在設(shè)計(jì)制造工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)提高成品率的另一核心產(chǎn)品。

    晶體管工藝變異是當(dāng)前DFM領(lǐng)域面臨的重大挑戰(zhàn)，而PA-DFM產(chǎn)品是唯一解決相關(guān)變量問(wèn)題的方法。這些產(chǎn)品可通過(guò)整合設(shè)計(jì)工藝的精確物理建模信息，解決由于設(shè)計(jì)和生產(chǎn)交互作用所引起的參量變異問(wèn)題，是建立在Synopsys先進(jìn)的工藝和器件建模工具TCAD專業(yè)能力基礎(chǔ)上的最新進(jìn)展。這些Synopsys DFM最新增加的產(chǎn)品補(bǔ)充了該公司最近推出的成品率分析工具PrimeYield和統(tǒng)計(jì)時(shí)序分析工具 PrimeTime® VX，以及統(tǒng)計(jì)參數(shù)提取工具Star-RCXT™ VX。

    UMC的IP和設(shè)計(jì)支持事業(yè)部總監(jiān)Ken Liou表示：“由于先進(jìn)技術(shù)結(jié)點(diǎn)需要增加新的工序，因此工藝變異問(wèn)題使DFM設(shè)計(jì)人員面臨越來(lái)越大的挑戰(zhàn)。例如，目前的建模解決方案還不能解釋通孔布局是如何影響可以用來(lái)增強(qiáng)遷移率的應(yīng)力膜。我們非常高興地看到DFM解決方案在不斷向前發(fā)展，并愿意與Synopsys合作采用其45納米及以下工藝的PA-DFM工具?！?

    為了確保與原有設(shè)計(jì)架構(gòu)的無(wú)縫整合，最新PA-DFM產(chǎn)品被設(shè)計(jì)為可以輕松嵌入客戶現(xiàn)有設(shè)計(jì)流程和方法，在滿足客戶減少工藝變異問(wèn)題需求和提高電路性能的前提下保護(hù)客戶投資。PA-DFM產(chǎn)品有助于IC設(shè)計(jì)人員在實(shí)現(xiàn)45納米及以下技術(shù)的全部潛能的同時(shí)，最大限度地提高成品率。 

    通過(guò)集成基于TCAD驅(qū)動(dòng)的模型和物理設(shè)計(jì)工具，Synopsys填補(bǔ)了納米級(jí)IC設(shè)計(jì)的關(guān)鍵空白。PA-DFM產(chǎn)品系列與公司的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)產(chǎn)品HSPICE®電路模擬工具、PrimeTime® VX和Star-RCXT™ VX工具的有效配合，強(qiáng)化了Synopsys公司的解決工藝變異問(wèn)題的能力，進(jìn)而提升了性能、生產(chǎn)效率和可預(yù)測(cè)性。所有這些工具都具有高度的互補(bǔ)性，有助于客戶解決設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)中元件布局所引起的工藝變異問(wèn)題。

    Seismos 和Paramos工具的組合可以解決設(shè)計(jì)當(dāng)中引起工藝變異的兩大問(wèn)題：由于應(yīng)力和其它臨近效應(yīng)引起的逼近變異，以及跨越不同裸片和晶圓間制造工藝參數(shù)的延展而引起的全局變異。通過(guò)在制造工藝中應(yīng)用精確的物理建模，設(shè)計(jì)人員可以在不大規(guī)模改變當(dāng)前實(shí)際設(shè)計(jì)流程的條件下描述制造可變異性的問(wèn)題。

    Seismos是晶體管級(jí)的工具，用來(lái)分析在納米級(jí)張力條件下硅技術(shù)的應(yīng)力和其它逼近效應(yīng)。由于目前65納米技術(shù)結(jié)點(diǎn)已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段，而45納米技術(shù)結(jié)點(diǎn)剛進(jìn)入試生產(chǎn)階段，因此客戶需要分析因逼近效應(yīng)產(chǎn)生的參數(shù)變化的能力，如晶體管應(yīng)力狀態(tài)對(duì)布局產(chǎn)生的影響。Seismos是可以滿足這一關(guān)鍵需求的第一款EDA工具。其模型通過(guò)硅數(shù)據(jù)經(jīng)過(guò)了嚴(yán)格的TCAD仿真驗(yàn)證。該工具可以輕松實(shí)現(xiàn)數(shù)百萬(wàn)晶體管的設(shè)計(jì)。

    通過(guò)提取工藝識(shí)別的SPICE緊湊模型，結(jié)合了校準(zhǔn)的TCAD仿真與全局SPICE提取，Paramos直接將SPICE模型與制造條件連接，這有助于客戶模擬工藝變異（統(tǒng)計(jì)或系統(tǒng)方面）對(duì)電路性能產(chǎn)生的影響。這種方法可為客戶提供用于電路性能統(tǒng)計(jì)計(jì)時(shí)仿真的實(shí)際變量模型，允許客戶將設(shè)計(jì)敏感度的探索深入到實(shí)際的物理工藝參數(shù)當(dāng)中。

    Synopsys TCAD事業(yè)部總經(jīng)理Wolfgang Fichtner 表示：“在45納米及以下工藝，我們的客戶必須對(duì)工藝變異的影響及變異的來(lái)源有清晰的認(rèn)識(shí)。Synopsys新的工藝具備識(shí)別功能的PA-DFM系列產(chǎn)品可幫助我們的客戶更深入地了解引起工藝變異的底層物理現(xiàn)象。此外，這些工具還幫助我們的客戶充分利用Synopsys的TCAD、DFM和工藝變異識(shí)別統(tǒng)計(jì)分析技術(shù)的優(yōu)勢(shì)，開(kāi)發(fā)并優(yōu)化他們的設(shè)計(jì)流程和方法學(xué)，進(jìn)一步完善半導(dǎo)體工藝。這將顯著節(jié)約時(shí)間和成本，最終使芯片制造商實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)量?！?

    PA-DFM系列產(chǎn)品目前已經(jīng)上市。