21ic訊，應(yīng)用材料公司今天發(fā)布了兩款新系統(tǒng)：AKT-20K™ TFE PECVD*和Applied AKT-40K™ TFE PECVD，主要面向高解析度、輕薄型電視和移動設(shè)備的柔性OLED顯示屏幕的批量生產(chǎn)，能有效沉積薄膜封裝阻隔層，對保護(hù)敏感性極高的OLED器件具有重要意義，成為材料工程領(lǐng)域的又一項(xiàng)重大突破。這兩款新系統(tǒng)能幫助顯示器制造商替代設(shè)備前方的剛性絕緣玻璃，開發(fā)出適用于新一代消費(fèi)電子產(chǎn)品的可彎曲的和曲面顯示屏。

OLED屏幕憑借鮮艷亮麗的色彩和低能耗特性已在智能手機(jī)中得到迅速普及，其中柔性O(shè)LED是移動通信領(lǐng)域增長最迅猛的顯示設(shè)備。

全新的薄膜封裝(TFE)系統(tǒng)(925 x1500毫米基板為20K，1250 x2200毫米基板為40K)面向不同的顯示細(xì)分市場，可以更靈活地滿足各類大、小尺寸的更加輕薄型柔性OLED顯示設(shè)備不斷增長的需求。

應(yīng)用材料公司副總裁兼顯示事業(yè)部總經(jīng)理謝思源博士表示：“隨著顯示器尺寸、解析度、畫質(zhì)和外形的改進(jìn)，為顯示設(shè)備制造商創(chuàng)造了巨大的市場機(jī)遇，將有更多新柔性顯示產(chǎn)品推向市場。柔性O(shè)LED必須有一定的結(jié)實(shí)度，才能滿足消費(fèi)者在日常生活中的需求。目前已投產(chǎn)的Applied AKT-20KTFE系統(tǒng)能讓面板廠商加快推出柔性和曲面移動顯示設(shè)備，未來這將改變我們每天使用的電子產(chǎn)品的外觀。”

Applied AKT TFE產(chǎn)品線的主要特色在于其能提供極低透水和透氧性的擴(kuò)散阻擋薄膜，從而大幅提升OLED的使用壽命。這些高性能薄膜都在100℃以下的環(huán)境中沉積，解決了OLED材料在暴露于外部環(huán)境中易于降解的問題。此外，該系統(tǒng)采用獨(dú)特的視覺對準(zhǔn)技術(shù)，保證了精準(zhǔn)的掩膜定位和沉積，使顯示設(shè)備制造商能減少光刻和蝕刻工序，從而降低生產(chǎn)成本。

*TFE=薄膜封裝; *PECVD=等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積