吉時利儀器公司日前發(fā)布測試界第一個利用一套線纜即可處理I-V、C-V和脈沖I-V信號的互連解決方案（正申請專利）。本款最新布線套件基于專利型設計，能大大加快并簡化從任意先進半導體參數(shù)分析儀到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探測器進行直流電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和脈沖I-V測試互連的過程。互連線的設計與吉時利4200-SCS半導體特征分析系統(tǒng)以及其他一些用于特征分析的測試儀器兼容。

該高性能三同軸線纜套件的設計非常適合需要在不同測量類型之間頻繁切換的特征分析應用。采用這些新型的線纜套件在不同測量類型之間進行轉換時無需重新布線，且能消除由于連線誤差而導致的測量誤差。其包括兩種線纜套件——一種適用于Cascade Microtech探測器，另外一種適用于SUSS MicroTec探測器。

對半導體器件進行電氣特征分析并掌握其生產過程中所用工藝，需要進行各種測量操作包括直流I-V、C-V和脈沖式I-V測量。將不同類型的測量集成在一個特征分析系統(tǒng)中最大挑戰(zhàn)是，每種測量都有完全不同的布線需求。例如，進行低電流I-V測量需要加保護層，因此需要三軸線；C-V測量通常采用四條同軸線纜并將外殼連接在一起以控制信號遇到的特征阻抗；脈沖測量所需帶寬在三種測量類型中最高，因此布線的特征阻抗必須與源阻抗相匹配，以防止DUT的反射信號在源端發(fā)生反射。

吉時利新推出的布線套件在設計時考慮到以上不同需求，用戶進行任何類型的測量都無需改動探針控制器的布線；只需簡單把線纜從一組儀器互連轉換到另一組，大大簡化了I-V測量、C-V測量和脈沖I-V測試之間的轉換，從而簡化器件特征分析過程。此外，在探針接觸圓片時可修改測試配置以減少pad損傷，并對所有三類測量都能保持相同接觸阻抗。

不斷增強的系統(tǒng)功能確保產能不斷增長

吉時利4200-SCS以一套緊密集成的特征分析解決方案取代了多種分離的電氣測試工具，是可靠性實驗室、材料與器件研究實驗室進行半導體技術研究、工藝研發(fā)和材料研究的理想選擇，能滿足所有需要臺式直流或脈沖測試儀的實驗室的需要。自推出4200-SCS系統(tǒng)以來，吉時利不斷增強其硬件和軟件功能。吉時利對系統(tǒng)不斷更新的承諾確保用戶能夠獲得高性價比的升級途徑，用戶無需因為原有儀器過時而購買新的參數(shù)分析儀。系統(tǒng)通過高性價比的升級能滿足業(yè)界不斷增長的測試需求，相比競爭對手的測試方案，用戶對4200-SCS的固定資產投資有效期更長。

吉時利儀器公司作為半導體器件特征分析和參數(shù)測試系統(tǒng)的領先供應商，為全球用戶提供電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和脈沖I-V測量與分析所需的各種靈活解決方案。產品涵蓋從臺式儀器到成套系統(tǒng)，應用于材料分析、器件特征分析、圓片級可靠性分析、工藝控制監(jiān)測等領域。吉時利通過其龐大的現(xiàn)場服務中心網(wǎng)絡以及具有半導體專業(yè)技術知識的應用工程師，為全球半導體用戶提供服務。