功率MOSFET線性區(qū)、完全導(dǎo)通區(qū)的電場和電流分布
MOSFET的漏極導(dǎo)通特性如圖1所示,其工作特性有三個工作區(qū):截止區(qū)、線性區(qū)和完全導(dǎo)通區(qū)。其中,線性區(qū)也稱恒流區(qū)、飽和區(qū)、放大區(qū);完全導(dǎo)通區(qū)也稱可變電阻區(qū)。
圖1:MOSFET的漏極導(dǎo)通特性
通常MOSFET工作于開關(guān)狀態(tài),在截止區(qū)和完全導(dǎo)通區(qū)之間高頻切換,由于在切換過程中要經(jīng)過線性區(qū),因此產(chǎn)生開關(guān)損耗。對于熱插撥、負(fù)載開關(guān)、分立LDO的調(diào)整管等這一類的應(yīng)用,MOSFET較長時間或一直在線性區(qū)工作,因此工作狀態(tài)不同。
功率MOSFET在完全導(dǎo)通區(qū)和線性區(qū)工作時候,都可以流過大的電流。理論上,功率MOSFET是單極型器件,N溝道的功率MOSFET,只有電子電流,沒有空穴電流,但是,這只是針對完全導(dǎo)通的時候;在線性區(qū),還是會同時存在電子和空穴二種電流,如圖2、圖3和圖4分別所示,完全導(dǎo)通區(qū)和線性區(qū)工作時,電勢、空穴和電流線分布圖。
從電勢分布圖,功率MOSFET完全導(dǎo)通時,VDS的壓降低,耗盡層完全消失;功率MOSFET在線性區(qū)工作時,VDS的電壓比較高,耗盡層仍然存在,此時由于在EPI耗盡層產(chǎn)生電子-空穴對,空穴也會產(chǎn)生電流,參入電流的導(dǎo)通。
空穴電流產(chǎn)生后,就會通過MOSFET內(nèi)部的BODY體區(qū)流向S極,這也導(dǎo)致有可能觸發(fā)寄生三極管,對功率MOSFET產(chǎn)生危害。由空、電流線穴分布圖可見:線性區(qū)工作時產(chǎn)生明顯的空穴電流,電流線也擴散到P型BODY區(qū)。
圖2:完全導(dǎo)通(左)和線性區(qū)的電勢分布圖
圖3:完全導(dǎo)通(左)和線性區(qū)的空穴分布圖
圖4:完全導(dǎo)通(左)和線性區(qū)的電流線分布圖
功率MOSFET在線性區(qū)工作時,器件同時承受高的電壓和高的電流時,會產(chǎn)生下面的問題:
1、內(nèi)部的電場大,注入更多的空穴。
2、有效的溝道寬度比完全導(dǎo)通時小。
3、改變Vth和降低擊穿電壓。
4、Vth低,電流更容易傾向于局部的集中,形成熱點;負(fù)溫度系數(shù)特性進一步惡化局部熱點。
功率MOSFET工作在線性區(qū)時,器件承受高的電壓,耗盡層高壓偏置導(dǎo)致有效的體電荷減小;工作電壓越高,內(nèi)部的電場越高,電離加強產(chǎn)生更多電子-空穴對,形成較大的空穴電流。特別是如果工藝不一致,局部區(qū)域達(dá)到臨界電場,會產(chǎn)生非常強的電離和更大的空穴電流,增加寄生三極管導(dǎo)通的風(fēng)險。
圖5為通用Trench和SGT屏蔽柵(分離柵)完全導(dǎo)通的電流線。注:圖5來源于網(wǎng)絡(luò)。可以看到,新一代SGT工藝的功率MOSFET局部區(qū)域電流線更密急,更容易產(chǎn)生局部的電場集中,因此,如果不采取特殊的方法,很難在線性區(qū)的工作狀態(tài)下使用。
圖5:Trench(左)和SGT屏蔽柵電流線分布圖