基于MEMS的陀螺儀,是利用科里利奧力,對(duì)MEMS內(nèi)部施加一個(gè)X方向的激勵(lì)信號(hào),當(dāng)質(zhì)量塊相對(duì)于震蕩的系統(tǒng)產(chǎn)生Z軸方向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí),由于Y方向的科里利奧力,質(zhì)量塊就產(chǎn)生Y方向的運(yùn)動(dòng),通過計(jì)算電容的變化,就可以計(jì)算出對(duì)應(yīng)的角加速度值。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級(jí)別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置,能夠測(cè)量或保持方向。這是通過對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測(cè)和測(cè)量實(shí)現(xiàn)的。
MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表,MEMS隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)等學(xué)科的興起,又基于科里奧利振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù),MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)。ER-MG2-50/100作為MEMS陀螺儀中的高精度陀螺儀,具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價(jià)格低廉、便于批量生產(chǎn)等特點(diǎn),解決了第一代和第二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的缺點(diǎn),精度和穩(wěn)定性不斷提高。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級(jí)別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置,能夠測(cè)量或保持方向。這是通過對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測(cè)和測(cè)量實(shí)現(xiàn)的。MEMS陀螺儀的工作原理基于科里奧利(Coriolis)效應(yīng)。這是一個(gè)物理現(xiàn)象,在旋轉(zhuǎn)參考系中,運(yùn)動(dòng)物體受到一種橫向的力,稱為科里奧利力。
在聊MEMS的時(shí)候,大家通常會(huì)聊MEMS傳感器的相關(guān)內(nèi)容。但是,這卻讓我們忽視了MEMS在其它方面的應(yīng)用,比如MEMS鏡頭。
ADI公司開發(fā)了一款集成信號(hào)調(diào)理功能的高溫MEMS陀螺儀,即ADXRS645。此傳感器即使在沖擊和振動(dòng)環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的角速率(轉(zhuǎn)速)測(cè)量,且額定工作溫度高達(dá)175°C。
XV4001 陀螺儀 MEMS陀螺儀 微機(jī)械陀螺儀 QMEMS陀螺儀 石英晶體
今年,中航工業(yè)計(jì)量所成功監(jiān)測(cè)深水長(zhǎng)周期管節(jié)運(yùn)動(dòng)姿態(tài),為港珠澳大橋島隧工程E11管節(jié)的順利對(duì)接提供了計(jì)量保證,這標(biāo)志著該所參與的國(guó)家重點(diǎn)工程——港珠澳大橋島隧工程建設(shè)首戰(zhàn)告捷。國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的MEMS陀
【導(dǎo)讀】深迪半導(dǎo)體,日前發(fā)布了旗下第一款陀螺儀產(chǎn)品--SSZ030CG,這標(biāo)志著第一款具有中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的商用MEMS(微機(jī)電)陀螺儀誕生。 深迪半導(dǎo)體,日前發(fā)布了旗下第一款陀螺儀產(chǎn)品--SSZ030CG,這標(biāo)志著第一款
【導(dǎo)讀】MEMS陀螺儀的制電路內(nèi)部可內(nèi)嵌進(jìn)階電源管理功能,可在不需要?jiǎng)討B(tài)傳感器功能的狀態(tài)下直接將MEMS傳感器整組關(guān)閉,或搭配系統(tǒng)的使用狀態(tài)區(qū)隔深度睡眠、一般睡眠與正常運(yùn)作狀態(tài),藉此達(dá)到MEMS陀螺儀最大幅度的節(jié)
【導(dǎo)讀】先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對(duì)汽車電子應(yīng)用需求,對(duì)MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級(jí)封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀將躍居高階行動(dòng)裝置標(biāo)配。為實(shí)現(xiàn)行動(dòng)裝置功能差異化,一線品牌廠正紛紛在鏡頭模組中導(dǎo)入雙軸陀螺儀,以引進(jìn)數(shù)位相機(jī)中的實(shí)體光學(xué)防手震(OIS)功能,改善既有數(shù)位防手震方案的精準(zhǔn)度及解析度品質(zhì)
MEMS陀螺儀的重要參數(shù)包括:分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測(cè)量范圍。這些參數(shù)是評(píng)判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標(biāo)志,同時(shí)也決定陀螺儀的應(yīng)用環(huán)境。分辨率是指陀螺儀能檢測(cè)的最小
1、微機(jī)械陀螺儀的工作原理MEMS陀螺儀利用科里奧利力(Coriolis force,又稱為科氏力)現(xiàn)象??剖狭κ菍?duì)旋轉(zhuǎn)體系中進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的質(zhì)點(diǎn)由于慣性相對(duì)于旋轉(zhuǎn)體系產(chǎn)生的直線運(yùn)動(dòng)的偏移的一種描述???里奧利力來自于物體運(yùn)
想象下你坐在一個(gè)以恒定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)著的旋轉(zhuǎn)木馬上:你站在它的中心,開始以一個(gè)恒定的速度沿著一條直線行走,這條直線是以放射狀畫在地板上,從中心指向外沿(圖1)。你會(huì)感覺到什么力量?這一問題的答案會(huì)有助于解釋MEMS
消費(fèi)電子設(shè)備早在幾年前就開始使用MEMS加速計(jì)。從游戲機(jī)到手機(jī),從筆記本電腦到白色家電,運(yùn)動(dòng)控制式用戶界面和增強(qiáng)的保護(hù)系統(tǒng)給所有的消費(fèi)電子產(chǎn)品帶來很多好處?,F(xiàn)在輪到MEMS陀螺儀大顯神威了,消費(fèi)電子集成MEMS陀
用高速回轉(zhuǎn)體的動(dòng)量矩敏感殼體相對(duì)慣性空間繞正交于自轉(zhuǎn)軸的一個(gè)或二個(gè)軸的角運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置。利用其他原理制成的角運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置起同樣功能的也稱陀螺儀。 目前多數(shù)以加速度計(jì)搭配陀螺儀通常經(jīng)過整合設(shè)計(jì)、來建構(gòu)可進(jìn)行
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG應(yīng)用的市場(chǎng)份額。具體來說,天線陣列穩(wěn)定、農(nóng)業(yè)機(jī)械控制、常規(guī)車輛導(dǎo)航成
消費(fèi)電子用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀(gyroscope)供應(yīng)大廠應(yīng)美盛(InvenSense, Inc.)于2日美國(guó)股市盤后公布2013會(huì)計(jì)年度第4季(2013年1-3月)財(cái)報(bào):營(yíng)收年增66.8%至5,520萬美元;本業(yè)每股稀釋盈余達(dá)0.15美元、優(yōu)于一年前同
先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序(ESP)微傳感器及系統(tǒng)”針對(duì)汽車電子應(yīng)用需求,對(duì)MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級(jí)封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度