盛美半導體（ACM Research）是一家由一群清華校友在硅谷成立的半導體設備公司，主攻單晶圓濕式清洗設備。該公司近日宣布擴大其進入中國資本市場的計劃，將尋求未來三年內在上海證券交易所的科創(chuàng)板上市。

據稱，將在科創(chuàng)板上市的是ACM Research分公司ACM上海，目的是獲取其主要市場的新增長資本來源，提高盛美半導體與該地區(qū)投資者和潛在客戶的關系，并幫助鞏固ACM作為半導體資本設備全球供應商的地位市場。

ACM總裁兼首席執(zhí)行官王暉博士評論說：“我們的計劃旨在更好地調整ACM的資本結構，使其成為全球領先的半導體資本設備供應商，我們的創(chuàng)新SAPS、TEBO、Tahoe和ECP技術將我們定位于為了顯著增長。我們現在正在采取行動，以實現有利的估值，鞏固ACM作為中國當地主要參與者的地位，為獲得大型IC制造商客戶做好準備。”

據了解，盛美半導體設備在1998年由國家千人專家王暉博士為代表的一群清華校友成立于美國硅谷。初期公司致力于無應力銅拋光技術（stress-free copper polishing technology）為代表的電拋光技術，并有少量產品進入市場，但由于當時這種技術過于超前，市場前景和未來趨勢都不明朗，公司面臨著賣掉公司或者融資轉型的選擇并最終選擇了后者。

2006年公司在上海張江成立了合資公司 ACM Shanghai，并于2007年公司開始專攻單晶圓清洗方案。2016年，該公司開發(fā)出了另一大顛覆性的無損傷兆聲波清洗技術（TEBO，Timely Energized Bubble Oscillation），并于Finfet結構上取得驗證。2017年11月，公司正式在美國納斯達克上市