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[導(dǎo)讀]日前,三星在日本舉辦了三星鑄造工廠論壇(SFF)2018年會(huì),更新了技術(shù)路線圖。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),主要有三點(diǎn),一是基于EUV技術(shù)的7nm制程工藝會(huì)在接下來(lái)幾個(gè)季度內(nèi)大規(guī)模量產(chǎn)(初期EUV僅用于選擇層),二是導(dǎo)

日前,三星在日本舉辦了三星鑄造工廠論壇(SFF)2018年會(huì),更新了技術(shù)路線圖。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),主要有三點(diǎn),一是基于EUV技術(shù)的7nm制程工藝會(huì)在接下來(lái)幾個(gè)季度內(nèi)大規(guī)模量產(chǎn)(初期EUV僅用于選擇層),二是導(dǎo)入8nm LPU工藝,三是重申,圍繞3nm節(jié)點(diǎn),將引入閘極全環(huán)場(chǎng)效晶體管(Gate-all-aroundFET,GAAFET),來(lái)取代FinFET(鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管)。

三星晶圓廠分布

關(guān)于第一點(diǎn),三星稱(chēng)已經(jīng)在韓國(guó)華城的S3工廠配置了多臺(tái)ASML Twinscan NXE:3400B EUV光刻機(jī),投資6萬(wàn)億韓元的新EUV產(chǎn)線預(yù)計(jì)2019年竣工,2020年擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

目前,官宣采用三星7nm LPP工藝的是高通驍龍5G SoC。

關(guān)于第二點(diǎn),8nm LPU(low power ultimate)是8nm LPP的改良版,后者比10nm LPP減少10%的芯片面積和10%的功耗,看起來(lái)LPU將進(jìn)一步在功耗、面積上做文章。

由于三星7nm LPP補(bǔ)充產(chǎn)能需要等到2020年,此間就是8nm在市場(chǎng)大展拳腳的契機(jī)。按照Z(yǔ)DNet的說(shuō)法,高通也是三星8nm的客戶。

至于第三點(diǎn),三星將FinFET技術(shù)的極限發(fā)揮到5nm LPE和4nm LPP,計(jì)劃2019年風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)。不過(guò)到了3nm時(shí)代,芯片越做越小,電流信道寬度不斷變窄,難以控制電流方向,三星提出了GAAFET方案,定于2020年早些時(shí)候試產(chǎn)。

另外,三星還表示,2019年,單芯片封裝技術(shù)3D SiP將準(zhǔn)備就緒。

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