半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)可以說是制造業(yè)的皇冠，而光刻機(jī)就是皇冠上的明珠，EUV光刻機(jī)則是明珠之光，其設(shè)計(jì)之復(fù)雜遠(yuǎn)超一般工業(yè)設(shè)備。

目前EUV光刻機(jī)只有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn)，Q3季度他們交付了7臺EUV光刻機(jī)，但獲得了23臺EUV光刻機(jī)訂單，每臺價格超過1億歐元。

ASML公司今天發(fā)布了2019年Q3季度財(cái)報，當(dāng)季營收29.87億歐元，同比增長7.6%，運(yùn)營利潤13.07億歐元，凈利潤6.27億歐元，與去年同期的6.8億歐元有所下滑，不過這主要是今年Q3季度的研發(fā)支出增加了25%。

今年Q3季度中，臺積電已經(jīng)開始量產(chǎn)EUV工藝，所以ASML公司的EUV交付及訂單也創(chuàng)了記錄，當(dāng)季交付了7臺EUV光刻機(jī)，同時獲得了23臺EUV光刻機(jī)的訂單量，創(chuàng)造了歷史最高水平，算上其他光刻機(jī)，ASML手握的訂單總額高達(dá)51億歐元。

ASML最新的EUV光刻機(jī)是NEX:3400C型號，已經(jīng)達(dá)到了量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，Q3季度中交付的7臺EUV光刻機(jī)中有3臺是NEX:3400C，Q4季度中預(yù)計(jì)交付8臺EUV光刻機(jī)，總價值高達(dá)9.5億歐元，平均每臺價格達(dá)到了1.2億歐元，折合人民幣9.4億元，堪稱人類最昂貴的設(shè)備了。