據(jù)IHS iSuppli公司預(yù)測(cè)，我國(guó)2011年MEMS消費(fèi)增長(zhǎng)約10%，銷售額將達(dá)到16億美元。到2015年，中國(guó)MEMS銷售額將達(dá)到26億美元，2010-2015年復(fù)合年度增長(zhǎng)率為12.1%，如下圖所示。

圖：預(yù)計(jì)2011年中國(guó)MEMS銷售額將達(dá)到16億美元，2010-2015年復(fù)合年度增長(zhǎng)率為12.1%

未來幾年，中國(guó)市場(chǎng)上增長(zhǎng)最快的MEMS領(lǐng)域?qū)⑹鞘謾C(jī)與消費(fèi)市場(chǎng)的麥克風(fēng)、加速計(jì)和陀螺儀。增長(zhǎng)第二快的領(lǐng)域?qū)⑹瞧嚺c工業(yè)MEMS市場(chǎng)，預(yù)計(jì)2011-2015年復(fù)合年度增長(zhǎng)率分別為14%和12%。

ADI近日針對(duì)工業(yè)和醫(yī)療等市場(chǎng)推出了第三代iSensor® MEMS IMU（慣性測(cè)量單元）ADIS16488，這是一款戰(zhàn)術(shù)級(jí)10自由度(DoF)傳感器 ，在單封裝中集成一個(gè)三軸陀螺儀、一個(gè)三軸加速度計(jì)、一個(gè)三軸磁力計(jì)和一個(gè)壓力傳感器。

據(jù)ADI微機(jī)械產(chǎn)品線高級(jí)應(yīng)用工程師趙延輝介紹，ADIS16488提供最穩(wěn)定、最完整的集成傳感器套件，支持高性能導(dǎo)航和平臺(tái)穩(wěn)定控制應(yīng)用的嚴(yán)格要求。除了重要的戰(zhàn)術(shù)級(jí)（低于10°/小時(shí)）零偏穩(wěn)定度以外，在重力加速度效應(yīng)、溫度系數(shù)和帶寬等一般更重要的特性方面，ADIS16488同樣超過所有其它同類陀螺儀/IMU產(chǎn)品，改善最多可達(dá)100倍。此外，在對(duì)線性加速度和振動(dòng)加速度抑制方面，新款 iSensor MEMS IMU甚至超過傳統(tǒng)軍用級(jí) IMU。每個(gè)器件均要經(jīng)過獨(dú)特而全面的工廠校準(zhǔn)，能夠在最惡劣的環(huán)境下提供無與倫比的精度；相對(duì)于典型的運(yùn)動(dòng)傳感器開發(fā)，設(shè)計(jì)的復(fù)雜度、時(shí)間、成本和風(fēng)險(xiǎn)大大降低。

ADIS16488的推出揭示了MEMS傳感器的幾大集成趨勢(shì)。趙延輝表示，首先，在多軸方案層面，現(xiàn)在已經(jīng)可以看到針對(duì)不同應(yīng)用需求提供的單軸、兩軸和三軸器件，使用者可以更靈活的選擇MEMS傳感器。

其次，MEMS領(lǐng)域中已經(jīng)出現(xiàn)了融合趨勢(shì)，以ADIS16488為例，該器件同時(shí)使用了加速計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)和壓力傳感器。

據(jù)IHS iSuppli公司預(yù)測(cè)，明年9軸組合中使用的運(yùn)動(dòng)傳感器的銷售額將達(dá)到8.5097億美元，比2011年底預(yù)計(jì)達(dá)到的5.5001億美元大增55%，而到2015年有望增長(zhǎng)到13.5億美元左右，如下圖所示。

圖：9軸運(yùn)動(dòng)傳感器的銷售額2015年有望增長(zhǎng)到13.5億美元

此外，將處理能力集成也是MEMS傳感器的一個(gè)發(fā)展方向。目前已經(jīng)有廠商陸續(xù)推出集成處理能力的MEMS方案，除了ADI新推出的ADIS16488，F(xiàn)reescale的解決方案也將低功耗MCU與加速計(jì)組合在同一個(gè)封裝之中。