尼得科株式會(huì)社的集團(tuán)公司尼得科儀器株式會(huì)社(舊日本電產(chǎn)三協(xié))開(kāi)發(fā)出了能夠在真空環(huán)境下工作的液晶基板搬運(yùn)機(jī)器人,該機(jī)器人具有與在大氣環(huán)境下工作同等的關(guān)節(jié)自由度。

在液晶面板和有機(jī)EL等顯示器的制造工藝中,為了同時(shí)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的削減和屏幕尺寸的大型化,不斷需要更大的母玻璃基板和更快的處理速度。由于可搬運(yùn)的玻璃尺寸越大搬運(yùn)效率就越高,因此近年來(lái)對(duì)3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬運(yùn)需求不斷增加。母玻璃基板的薄膜處理、蒸鍍等工藝需要極高潔凈度的真空環(huán)境,因此,搬運(yùn)機(jī)器人也必須具備能承受真空環(huán)境的性能。

尼得科儀器在用于有機(jī)EL基板蒸鍍工藝的搬運(yùn)機(jī)器人領(lǐng)域中,全球市場(chǎng)份額名列前茅,本產(chǎn)品也充分運(yùn)用了該專(zhuān)有技術(shù)。在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人,其各個(gè)關(guān)節(jié)都內(nèi)置了密封裝置,以防止空氣和灰塵等從機(jī)器人的機(jī)械臂等內(nèi)部逸出,這往往是導(dǎo)致可動(dòng)關(guān)節(jié)自由度降低的原因。為此,尼得科儀器產(chǎn)品采用了與減速機(jī)一體化的磁性密封件,可以將密封件的使用數(shù)量控制在最小范圍,確保了與大氣環(huán)境同等的自由度。為了滿足客戶的需求,產(chǎn)品線包括回旋鏢式和SCARA式兩種臂型,兩種臂型采用的是可以通用的單元,有效地控制了成本。

尼得科儀器作為全球頗具實(shí)力的綜合電機(jī)制造商的一員,今后將繼續(xù)為打造舒適的社會(huì)提供有益的解決方案。