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要滿足批量高速高良率的生產(chǎn),供料技術(shù)也相當(dāng)關(guān)鍵。倒裝晶片的包裝方式主要有2×2和4×4inJEDEC盤,20Omm或300mm晶圓盤(Wafer),還有卷帶料盤(Reel)。對應(yīng)的供料器有:固定式料盤供料器(StatiONarytrayfeeder)、自動堆疊式送料器(AutomatedStackableFeeder)、晶圓供料器(WaferFeeder),以及帶式供料器。所有這些供料技術(shù)必須具有精確高速供料的能力;對于晶圓供料器,還要求其能處理多種元件包裝方式,譬如,元件包裝可以是JEDEC盤或裸晶,甚至晶片在機(jī)器內(nèi)完成翻轉(zhuǎn)動作。下面我們來舉例說明幾種供料器。

 ?、侪h(huán)球儀器的具有Wafer預(yù)張功能的晶圓供料器,其特點(diǎn)是:

  ·Wafer預(yù)張功能,快速換盤(少于4s);

  ·可以支持最大300mm的晶圓盤;

  ·供料速度1.3s/die;

  ·晶片尺寸0.5~25mm;

  ·支持墨點(diǎn)辨識和WaferMapping;便于自動檢出不需拾取的壞件;可以供給倒裝晶片和裸晶片;

  ·可以放置多達(dá)25層料盤。

 ?、贖over-Davis裸晶供料器(DirectDieFeeder,DDF),其特點(diǎn)是非功過:

  ·可用于混合電路或感應(yīng)器、多芯片模組、系統(tǒng)封裝,以及RFID和3D裝配;

  ·晶圓盤可以豎著進(jìn)料,節(jié)省空間,一臺機(jī)器可;

  ·以安裝多臺DDF;

  ·晶片可以在DDF內(nèi)完成翻轉(zhuǎn);

  ·可以安裝在多種貼片平臺上,如Universal,Siemens,Panasonic和Fuji。

 ?、跮auder,sTrayStakTM堆疊式JEDEC送料器,其特點(diǎn)是:

  ·最多可以放置2″×2″45盤;

  ·無間斷自動供料。



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