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[導(dǎo)讀]EUV還在紙面工作階段,未進(jìn)行相關(guān)活動。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常??蛻襞c設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作。

 

據(jù)日經(jīng)新聞11月6日報(bào)道,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)供應(yīng)極紫外光(EUV)光刻機(jī)給中芯國際的計(jì)劃已經(jīng)中止,多位ASML供應(yīng)商關(guān)系人士指出,ASML是為了避免因供應(yīng)最先進(jìn)的設(shè)備給中國,擔(dān)心刺激到美國,因此決定暫時(shí)中止交貨。

據(jù)了解,中芯國際是在去年4月份向ASML訂購了EUV光刻機(jī),原定于2019年底交付,到2020年中期完成安裝。

ASML是目前世界上唯一一家能夠生產(chǎn)出高端光刻機(jī)的廠商,EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)最新、最強(qiáng)大芯片必要設(shè)備,它能夠生產(chǎn)出7nm以下的設(shè)備,它的光線波長可以達(dá)到普通設(shè)備的十五分之一,因此也可以蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路,如果沒有EUV,芯片研發(fā)將可能會寸步難行。

另有消息人士表示:“ASML決定推遲EUV設(shè)備的交付,是因?yàn)椴幌胱屆绹疄榱俗钕冗M(jìn)的芯片制造機(jī)器運(yùn)往中國而煩惱。”他還補(bǔ)充說:“但與此同時(shí),ASML不想讓中國客戶感到不安,因?yàn)槟抢锸瞧湓鲩L最快的市場。”據(jù)了解,中國市場占ASML營收比重約2成、僅次于韓國(35%),因此ASML并不是完全取消上述供貨計(jì)劃,今后將謹(jǐn)慎確認(rèn)美中緊張情勢是否有好轉(zhuǎn)等情況、再來決定后續(xù)的因應(yīng)對策。

11月7日,針對以上報(bào)道,ASML公司官方做出了回應(yīng),內(nèi)容如下:

關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)昨日報(bào)導(dǎo),其標(biāo)題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導(dǎo),本公司在此提出澄清。

我司不對任何客戶做comment。對于日經(jīng)新聞報(bào)道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認(rèn),因此,“延遲出貨”僅為媒體推測。對其將推測直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述,表示抗議。

ASML一向在遵守相關(guān)國際法規(guī)的前提下一視同仁地服務(wù)全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請,目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯(cuò)誤的,ASML系遵循法規(guī)行事。

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