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上海2022年7月26日 /美通社/ -- 近日,中科智云與風(fēng)云信息(張家口密苑云頂雪場)、復(fù)旦大學(xué)聯(lián)合完成的論文《Secure Olympics Games with Technology: Intelligent B...

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多元化產(chǎn)業(yè)布局,以"硬科技"推動硬實(shí)力持續(xù)躍升 上海2022年7月22日 /美通社/ -- 科創(chuàng)板開市三周年之際,作為科創(chuàng)板首批上市的25家企業(yè)之一的中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱&q...

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化學(xué)氣相淀積指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。

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