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化學(xué)氣相淀積指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。

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磁帶是一種用于記錄聲音、圖像、數(shù)字或其他信號(hào)的載有磁層的帶狀材料,是產(chǎn)量最大和用途最廣的一種磁記錄材料。通常是在塑料薄膜帶基(支持體)上涂覆一層顆粒狀磁性材料或蒸發(fā)沉積上一層磁性氧化物或合金薄膜而成。曾使用紙和賽璐珞等作...

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傳感器電路

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