全球最大的光掩膜設(shè)備供應(yīng)商micronic laser system公司日前在上海召開的一場(chǎng)光掩膜技術(shù)研討會(huì)上介紹了該公司剛剛發(fā)布的兩款用于液晶面板生產(chǎn)線的掩膜用激光圖形描繪儀。在新聞發(fā)布會(huì)上，該公司產(chǎn)品管理高級(jí)副總裁jonas hasselberg聲稱，屬于prexision平臺(tái)的這兩款新設(shè)備將是“micronic laser system有史以來最大的技術(shù)提升”。1989年成立的micronic總部位于瑞典首都斯德哥爾摩北部的taby。該公司1993年向亞洲地區(qū)付運(yùn)了第一臺(tái)激光圖形描繪儀，并與1995年首次進(jìn)入中國市場(chǎng)。 hasselberg表示，由于液晶面板的主要產(chǎn)能目前都聚集在了亞洲地區(qū)，因此micronic有近90%的營收都來自這個(gè)市場(chǎng)。他介紹說，除了歐洲總部和設(shè)在美國的分公司外，該公司其他的分支機(jī)構(gòu)大都設(shè)立在了包括中國大陸、中國臺(tái)灣、日本、韓國在內(nèi)的遠(yuǎn)東地區(qū)。 在液晶面板的生產(chǎn)流程中，激光圖形描繪儀擔(dān)任的是量產(chǎn)與設(shè)計(jì)之間的橋梁作用。cad設(shè)計(jì)首先被轉(zhuǎn)成數(shù)據(jù)文件，然后再經(jīng)由激光圖形描繪儀和步進(jìn)式光刻機(jī)，才能形成最終的tft面板。 “顯示器產(chǎn)業(yè)已經(jīng)開始向第十代液晶面板開始進(jìn)軍。”hasselberg說，“基材尺寸正在變得越來越大，夏普已經(jīng)正式宣布了其第十代面板工廠的建設(shè)計(jì)劃，新一代工廠生產(chǎn)的3×3m2面板有望幫助實(shí)現(xiàn)65英寸液晶的大規(guī)模生產(chǎn)，并將推動(dòng)42英寸液晶的進(jìn)一步降低。不過，這同時(shí)也將成為面板產(chǎn)業(yè)有史以來最大規(guī)模的投資，如何在大尺寸基材上提高良率、降低成本，才是產(chǎn)業(yè)最為關(guān)心的話題?！?新推的prexision-10就是針對(duì)夏普年中發(fā)布的十代廠而開發(fā)的。據(jù)稱，除了大幅提高了lcd所用到的光掩膜的精度和質(zhì)量之外，相對(duì)于目前的產(chǎn)品生產(chǎn)力和可靠性也大大提高了。據(jù)稱，micronic已經(jīng)接到了來自日本的兩臺(tái)prexision-10訂單。該公司總裁兼執(zhí)行總監(jiān)sven lofquist表示，這是micronic成立以來所接到的最大訂單。第一臺(tái)prexision-10將于明年下半年交付客戶使用。 prexision-10市場(chǎng)上的初戰(zhàn)告捷意味著該公司將繼續(xù)在接近1,000億美元的顯示器領(lǐng)域扮演領(lǐng)導(dǎo)者的角色。不過，在瞄準(zhǔn)10代技術(shù)的同時(shí)，其兄弟產(chǎn)品prexision-8也同時(shí)推出。據(jù)悉通過旋轉(zhuǎn)等流程，prexision-8的用戶能夠借助一些細(xì)微的調(diào)整來改善良率。prexision-8還能夠向下兼容8代以下的各代液晶生產(chǎn)線。 上述兩款prexision平臺(tái)產(chǎn)品都是基于lrs系列而建立的。不過，與現(xiàn)有的lrs15000相比，其在光感尺寸精度(cd)控制和位置校準(zhǔn)精度上都分別提高了30%和50%，并在消除色斑不均衡引起的云紋現(xiàn)象上有了顯著改善。此外，新設(shè)備的單位時(shí)間內(nèi)的吞吐量也比lrs15000 -tft3高出60%，比lrs15000 -tft2高出20%。