為應(yīng)對(duì)“缺芯少屏”現(xiàn)狀，“中國(guó)屏”廠房正緊急施工建設(shè)。近日，中建一局集團(tuán)建設(shè)發(fā)展有限公司承建的廣州超視堺10.5代TFT-LCD顯示器生產(chǎn)線廠房的“心臟”——潔凈區(qū)開(kāi)工。

“我們承建的潔凈區(qū)是該顯示器生產(chǎn)線的五個(gè)核心潔凈區(qū)之一，總面積約9.3萬(wàn)平方米，相當(dāng)于12.6個(gè)標(biāo)準(zhǔn)足球場(chǎng)大小，而其潔凈度要求是醫(yī)院ICU潔凈病房的10倍以上。因?yàn)樯a(chǎn)屏幕的核心設(shè)備必須在潔凈環(huán)境下工作，否則無(wú)法批量產(chǎn)出合格產(chǎn)品。”廣州超視堺潔凈區(qū)項(xiàng)目經(jīng)理宋超表示，公司作為“新中國(guó)第一支建筑國(guó)家隊(duì)”，此前建造了35座“中國(guó)液晶屏”和“中國(guó)柔性屏”等超級(jí)廠房，見(jiàn)證了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的崛起。而這次中標(biāo)承建的高標(biāo)準(zhǔn)潔凈區(qū)，在工期、設(shè)計(jì)、維管、調(diào)試上均堪稱史上最嚴(yán)標(biāo)準(zhǔn)。

據(jù)悉，廣州超視堺10.5代TFT-LCD顯示器生產(chǎn)線廠房是目前全球體量和投資額最大的高科技廠房項(xiàng)目，也是廣州改革開(kāi)放以來(lái)單筆投資最大的先進(jìn)制造業(yè)項(xiàng)目。廠房投產(chǎn)后主要生產(chǎn)8K超高清、全球最大尺寸176寸的中國(guó)制造液晶面板。中建一局承建的切割與偏貼廠房潔凈區(qū)將歷時(shí)4個(gè)月，預(yù)計(jì)2019年1月竣工建成。

在非潔凈的環(huán)境下生產(chǎn)的半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)品合格率僅為10%—15%左右。宋超介紹，顯示屏生產(chǎn)線廠房項(xiàng)目總建筑面積178萬(wàn)平方米，5個(gè)核心廠房均各設(shè)一個(gè)潔凈區(qū)，中建一局負(fù)責(zé)的切割與偏貼廠房潔凈區(qū)最高潔凈度要求為1000級(jí)，即要求潔凈區(qū)域內(nèi)每立方英尺存在0.5μm的微塵粒子不能超過(guò)1000顆。建成后，屏幕生產(chǎn)所用的切割片、涂色和背光板組裝等系列設(shè)備將安放在此。而屏幕生產(chǎn)的最核心設(shè)備曝光機(jī)所在的陣列廠房潔凈區(qū)對(duì)潔凈等級(jí)要求為100級(jí)甚至10級(jí)。此外，生產(chǎn)線車間對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、防靜電、微振、光照度、噪聲等都有嚴(yán)格的參數(shù)要求。

中建一局集團(tuán)建設(shè)發(fā)展有限公司高科技電子廠房第一事業(yè)部總經(jīng)理趙海濤表示，“潔凈建造”是整個(gè)廠房建造中最難的部分，而潔凈管控是“潔凈建造”中的最大難題，需要確保在建造過(guò)程中實(shí)現(xiàn)封塵、去塵、不產(chǎn)塵、不進(jìn)塵。

宋超解釋，潔凈區(qū)建設(shè)過(guò)程中，首先使用抗靜電的防火墻密封隔離，“天”“地”“柱”要經(jīng)過(guò)打磨、涂刷多層環(huán)氧樹(shù)脂漆全部封塵。然后安裝全新通風(fēng)機(jī)組進(jìn)行正壓送風(fēng)，形成潔凈區(qū)內(nèi)的正壓環(huán)境，外部微塵無(wú)法進(jìn)入，并將室內(nèi)微塵顆粒吹出潔凈區(qū)域。在建造過(guò)程中對(duì)潔凈區(qū)進(jìn)行不間斷的清潔，分階段進(jìn)行深度大保潔，為保證潔凈度的形成及保持，在一個(gè)5000平方米的千級(jí)潔凈區(qū)內(nèi)的空氣就需要經(jīng)600多臺(tái)高效過(guò)濾器以每小時(shí)50—60次的頻率進(jìn)行循環(huán)過(guò)濾。在潔凈區(qū)的施工階段需進(jìn)行全過(guò)程潔凈管理，確保高科技電子廠房核心區(qū)域的“潔凈建造”。

“不同于其他廠房建設(shè)，所有進(jìn)入潔凈室的施工人員都要穿著潔凈服，進(jìn)入前需在更衣室吹掉灰塵，隨時(shí)隨地有專業(yè)人員打掃擦拭。潔凈區(qū)建成后還要擦拭兩遍，竣工前經(jīng)十余項(xiàng)檢測(cè)通過(guò)后才可搬入生產(chǎn)設(shè)備。” 宋超透露，目前施工區(qū)域正在進(jìn)行第一階段分層級(jí)地面打磨環(huán)氧和水電風(fēng)管道安裝工作。“地面如果高低不平，會(huì)產(chǎn)生大量灰塵微粒積壓，一個(gè)細(xì)小的微粒會(huì)直接導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢，特別是潔凈區(qū)域?qū)ζ秸鹊囊蠼蹩量蹋?平方米內(nèi)地面高差最多2毫米。”宋超說(shuō)。