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[導(dǎo)讀] 6月23日,盛美半導(dǎo)體12英寸單片清洗設(shè)備進(jìn)入世界知名芯片制造廠商首發(fā)儀式在張江高科技園區(qū)舉行,盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司首席執(zhí)行官王暉博士、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)徐小田秘書長(zhǎng)等參加了首發(fā)儀式。 十二英寸單片兆聲

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6月23日,盛美半導(dǎo)體12英寸單片清洗設(shè)備進(jìn)入世界知名芯片制造廠商首發(fā)儀式在張江高科技園區(qū)舉行,盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司首席執(zhí)行官王暉博士、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)徐小田秘書長(zhǎng)等參加了首發(fā)儀式。

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十二英寸單片兆聲波清洗設(shè)備用于65nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)以下的十二英寸高端硅片清洗。盛美獨(dú)家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù)可使兆聲波能量在12英寸硅片上非常均勻地分布(非均勻度的一個(gè)均方差小于2%),本技術(shù)在不損傷硅片微結(jié)構(gòu)的條件下使顆粒去除效率達(dá)到99.2%。

隨著半導(dǎo)體芯片的體積越來(lái)越小,當(dāng)今半導(dǎo)體清洗技術(shù)的一大挑戰(zhàn)是對(duì)機(jī)械損傷和不良率的控制。65納米節(jié)點(diǎn)以下控制電極與電容結(jié)構(gòu)越來(lái)越脆弱。當(dāng)積成電路線寬越變?cè)叫?,可影響硅片良率的粒子也越?lái)越小,而顆粒越小越難清洗。在芯片上如何避免微結(jié)構(gòu)損傷也是一個(gè)很具挑戰(zhàn)的難題,這就造成了芯片良率控制的窗口越來(lái)越小。

盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司的創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官王暉博士說(shuō):“雖然工業(yè)界一直期盼兆聲波清洗技術(shù)成為半導(dǎo)體關(guān)鍵性清洗難題的解決方案,然而還沒(méi)有任何一家公司可以均勻地控制兆聲波在硅片上的能量分布。盛美的UltraC單片清洗設(shè)備是第一臺(tái)能精確控制兆聲波能量均勻度的設(shè)備,使用超純凈水在不損傷微結(jié)構(gòu)的條件下顆粒去除效率(PRE)可達(dá)到98.3%;如果使用SC1化學(xué)清洗液顆粒去除效率(PRE)可高達(dá)99.2%”

盛美獨(dú)有的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù),“SAPS”可以控制兆聲波能量在硅片面內(nèi)以及硅片到硅片之間的非均勻度都小于2%。而目前在市面上的單片兆聲波清洗設(shè)備只能控制兆聲波能量非均勻度在10-20%。

兆聲波能量之所以可以去除顆粒是因?yàn)檎茁暡〞?huì)產(chǎn)生氣泡,這些氣泡能推動(dòng)微顆粒離開硅片表面從而去除微顆粒。而關(guān)鍵點(diǎn)是在于如何控制兆聲波在硅片表面上的能量,必須要有足夠的能量產(chǎn)生氣泡,又不能產(chǎn)生過(guò)多能量而破壞硅片上的微結(jié)構(gòu)。

能有效產(chǎn)生氣泡而不產(chǎn)生破壞的能量區(qū)間很小,所以要達(dá)到高的微顆粒去除率而不造成微結(jié)構(gòu)損壞必須具有很好的兆聲波能量均勻度控制能力。如果兆聲波能量在硅片上分布不均勻,那么在硅片上高能量區(qū)產(chǎn)生的“熱點(diǎn)”將會(huì)引起氣泡內(nèi)爆。當(dāng)氣泡內(nèi)爆時(shí),將產(chǎn)生相當(dāng)于1000大氣壓、4000攝氏度的微射流。這個(gè)高壓、高溫微射流很容易把硅片上的微結(jié)構(gòu)破壞掉。

盛美的SAPS兆聲波技術(shù)可以精確控制兆聲波的能量,讓氣泡來(lái)回放大收縮而不會(huì)內(nèi)爆。SAPS以非常均勻的能量分布(一個(gè)均方差小于2%)能夠確保有效的去除微顆粒而不會(huì)造成硅片微結(jié)構(gòu)的破壞。

盛美的ULTRAC單片清洗設(shè)備使用兆聲波與超潔凈水就可以達(dá)到98.3%的微顆粒去除率,UltraC還可以同時(shí)連接5種以上化學(xué)液體,并可以實(shí)現(xiàn)化學(xué)液體的分離以及循環(huán)使用。


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