據(jù)有關報告顯示，2008年全球傳感器市場規(guī)模為506億美元，而到2010年預計全球傳感器市場則可達600億美元以上。近些年來，與半導體工藝的融合成為推動傳感器發(fā)展的一個重要動力，這種融合使傳感器的性能更加強大，而體積卻越來越小，催生出微型傳感器。微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應用傳感器的領域得以應用傳感器件，從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件。與此同時，傳感器應用領域的拓展帶來了更多的市場需求。近些年來，基于MEMS等技術的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等的普及不斷給傳感器市場帶來新的增長點。比如最近興起的傳感網(wǎng)概念，就與微型無線傳感器息息相關，也正是受益于傳感網(wǎng)的發(fā)展，無線傳感器市場受到業(yè)界的關注并增長迅速，據(jù)有關市場研究機構(gòu)預測，在2007-2010年該市場年復合增長率會超過25%。

微型傳感器工藝技術創(chuàng)新

微型傳感器聽起來是體積微小的傳感器，但實際上，它并不是傳統(tǒng)傳感器簡單物理縮小的產(chǎn)物。據(jù)專家介紹，它是以新的工作機制和物化效應，使用標準半導體工藝兼容的材料，通過MEMS等加工技術制備的新一代傳感器件，具有小型化、集成化的特點，可以極大地提高傳感器性能。它的出現(xiàn)解決了傳統(tǒng)的傳感器因其制作工藝與半導體工藝不兼容，在性能、尺寸和成本上不能與通過半導體技術制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應的難題。

為滿足市場更高的要求，傳感器廠商在技術與工藝上不斷進步，產(chǎn)品也更加差異化。比如，愛普生的微型傳感器采用QMEMS工藝制作。愛普生(中國)有限公司副總經(jīng)理酒井嘉弘告訴《中國電子報》的記者， QMEMS是合并了QUARTZ和MEMS這兩個關鍵詞構(gòu)成的一項獨有的新技術，它是采用感光印刷加工技術實現(xiàn)的晶體精細加工工藝。傳統(tǒng)的機械加工工藝是在切斷晶體基板后，將晶體片與研磨劑一起放在容器中邊旋轉(zhuǎn)邊研磨，然后對晶體進行倒角加工?，F(xiàn)在它在很多方面達到了極限。而愛普生利用感光印刷技術對晶體實施精細加工，其工藝與機械加工相比，大幅提升穩(wěn)定性，并實現(xiàn)了產(chǎn)品的超小型化，也使得晶體特性大幅改善。

美新半導體的MEMS加速度傳感器則采用了熱對流的技術，美新半導體市場總監(jiān)張嘉福表示，這種技術不同于電容技術，可以使產(chǎn)品具有更高的抗沖擊性能，并降低了故障率，而它采用的CMOS工藝也顯著降低了成本。

應用向消費電子拓展

應用市場的發(fā)展也給微型傳感器提供了很好的舞臺，無論是在汽車、機械制造工業(yè)、工業(yè)過程控制，還是家居類和消費類電子產(chǎn)品領域，微型傳感器的應用都比以往更加廣泛。

基于MEMS技術的微型傳感器具有很多特點，比如提高了信噪比和靈敏度、具有陣列性、集成度高、又有很好的兼容性。而又由于它采用成熟的硅微半導體加工工藝加工制造，可以批量生產(chǎn)，降低了成本，所以它在很多應用領域受到了歡迎。

MEAS公司的MEMS傳感器就廣泛涉及壓力、加速度、溫度濕度、磁阻位移等各測試領域以及各種面向行業(yè)具體應用的綜合微型傳感器。MEAS公司技術拓展經(jīng)理程永紅一口氣為記者舉了好幾個典型的應用例子，比如醫(yī)療手術用有創(chuàng)血壓傳感器、高檔汽油車用氣體質(zhì)量流量傳感器、汽車(尤其是混合動力車)防霧用溫度濕度一體傳感器、微加工音叉技術的油品傳感器、車輛尾氣系統(tǒng)用溫度濕度壓力一體測量傳感器等等。

張嘉福認為，MEMS傳感器早已滲透到工業(yè)、汽車和導航系統(tǒng)的市場，這是因為基于MEMS技術的新產(chǎn)品提供了很低的成本，從而使相關市場受益。而MEMS未來應用的趨勢一定會在家庭和消費電子上，因為它們成長最快，也是最大的市場。

但從目前來看，全球傳感器市場增長最快的市場仍然是汽車市場，排在第二的則是過程控制市場。

無線市場快速成長

物聯(lián)網(wǎng)或稱傳感網(wǎng)最近在一些地區(qū)發(fā)展起來，使其概念成為業(yè)界關注的熱點。作為關鍵的器件之一，在物聯(lián)網(wǎng)或者傳感網(wǎng)中，無線傳感器也將扮演重要的角色。

傳感器廠商自然也對新興的市場倍加重視，他們在密切觀察市場的發(fā)展，并期待物聯(lián)網(wǎng)標準的出臺，同時也為進入此市場做好了準備。張嘉福對記者表示，物聯(lián)網(wǎng)是一個新型的應用，近來正在被普及之中。但實際上，物聯(lián)的智能傳感器網(wǎng)絡不是一個新的概念，RFID(射頻識別)和Zigbee曾都是為這個目的所創(chuàng)造。現(xiàn)在帶寬、基礎設施和傳感器技術終于趕上，為這種類型的應用做好了準備。他表示，對于物聯(lián)網(wǎng)來說存在不同類型的系統(tǒng)架構(gòu)和實施方法，他們正在評估，看美新的產(chǎn)品可以在什么系統(tǒng)和應用中采用，并能為客戶創(chuàng)造最多的價值。

MEAS公司對無線傳感器領域也非常重視，他們成立了專門的事業(yè)部和研發(fā)中心，在美國和歐洲的市場上其第一代壓力溫度濕度無線傳感器已經(jīng)在重要的工業(yè)領域被采用。程永紅告訴記者，他們正在自主研發(fā)芯片級低功耗解決方案，在新興的但越來越普及的國際國內(nèi)無線傳感領域?qū)⒄加邢喈數(shù)氖袌龇蓊~。

目前物聯(lián)網(wǎng)剛剛開始發(fā)展，業(yè)界也有人持懷疑態(tài)度，認為物聯(lián)網(wǎng)的廣泛互聯(lián)存在較大難度，標準也難以統(tǒng)一，不容易實現(xiàn)。但不管怎樣，對于傳感器來說，物聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)還是給其帶來了新的市場機會和應用的創(chuàng)新思路。