“02專項(xiàng)”成功實(shí)施 我國(guó)IC制造裝備工藝期待趕超
時(shí)間：2011-03-07 10:58:37
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[導(dǎo)讀]國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（以下簡(jiǎn)稱“02專項(xiàng)”）日前在京舉行了成果發(fā)布會(huì)。在這個(gè)長(zhǎng)期受到國(guó)外壟斷的領(lǐng)域，中國(guó)企業(yè)第一次拿出了諸多驕人成果?！?2專項(xiàng)”專家組負(fù)責(zé)人之一、中科院
國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（以下簡(jiǎn)稱“02專項(xiàng)”）日前在京舉行了成果發(fā)布會(huì)。在這個(gè)長(zhǎng)期受到國(guó)外壟斷的領(lǐng)域，中國(guó)企業(yè)第一次拿出了諸多驕人成果?！?2專項(xiàng)”專家組負(fù)責(zé)人之一、中科院院士王曦預(yù)計(jì)，到2020年，我國(guó)的集成電路制造裝備工藝有望與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家站在同一水平線上。業(yè)內(nèi)人士表示，“02專項(xiàng)”的成功實(shí)施，為我國(guó)集成電路行業(yè)實(shí)現(xiàn)趕超提供了信心和技術(shù)基礎(chǔ)。
“最大宗進(jìn)口物資”倒逼創(chuàng)新
長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)集成電路行業(yè)從制造工藝到裝備，再到材料，都嚴(yán)重依賴進(jìn)口，每年高達(dá)1200億美元的進(jìn)口額，使其成為我國(guó)最大宗進(jìn)口物資。此外，還有許多裝備由于國(guó)外采取禁運(yùn)措施，想進(jìn)口都不行。在此背景下，“02專項(xiàng)”應(yīng)運(yùn)而生。它的目標(biāo)十分明確：通過(guò)自主創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)追趕和超越。
“大兵團(tuán)攻關(guān)”卓有成效
集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈復(fù)雜，上下游的工序分工非常細(xì)，如果按傳統(tǒng)科技立項(xiàng)方式資助一兩個(gè)企業(yè)，就算出成果，也未必能直接用于生產(chǎn)。對(duì)此，“02專項(xiàng)”采取了“大兵團(tuán)”作戰(zhàn)的思路，在相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上由100多家企業(yè)、研究單位一起參與。
中芯國(guó)際就是典型例子。作為集成電路制造企業(yè)，它承擔(dān)了“65納米成套產(chǎn)品工藝”的研發(fā)工作，使我國(guó)的集成電路制造水平首次達(dá)到國(guó)際主流水平。目前，它每月可生產(chǎn)5000片12英寸芯片，貢獻(xiàn)了6億元產(chǎn)值。與此同時(shí)，中芯國(guó)際還扮演著“用戶測(cè)試方”的角色，項(xiàng)目組中負(fù)責(zé)裝備開(kāi)發(fā)、材料升級(jí)換代的單位，必須把成果拿到中芯國(guó)際的生產(chǎn)線上“跑”一下并得到認(rèn)可，才算真正成功。而國(guó)產(chǎn)先進(jìn)裝備的使用，反過(guò)來(lái)又有助于其進(jìn)一步提高制造工藝。目前他們正在研發(fā)精密程度更高的45納米、32納米芯片相關(guān)工藝?！肮窘窈髮⒉捎酶嗟膰?guó)產(chǎn)裝備，不是因?yàn)樗阋?，而是因?yàn)榇_實(shí)好用?！?strong>中芯國(guó)際首席執(zhí)行官王寧國(guó)說(shuō)。
不同于以往關(guān)起門來(lái)搞創(chuàng)新、搞鑒定，此次“02專項(xiàng)”成功的秘訣之一，就是按照產(chǎn)業(yè)鏈順序，讓下游檢測(cè)上游，讓“整機(jī)”檢測(cè)“部件”，以此確保質(zhì)量。目前，35種裝備、材料正在陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗(yàn)證階段，23種封裝設(shè)備和8種封裝材料已通過(guò)生產(chǎn)線驗(yàn)證。
產(chǎn)業(yè)撬動(dòng)價(jià)值更可觀
“02專項(xiàng)”的這些成果，使我國(guó)與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至一個(gè)技術(shù)代（約1—2年），也為我國(guó)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中贏得了更多話語(yǔ)權(quán)。中船重工第718研究所此次承擔(dān)一種氣體刻蝕介質(zhì)的開(kāi)發(fā)，該所工作人員告訴記者，此前這種氣體的進(jìn)口價(jià)高達(dá)270美元/噸，開(kāi)發(fā)成功后，國(guó)際售價(jià)一下子下降了2/3以上。現(xiàn)在該所已擁有華虹等多家國(guó)內(nèi)芯片制造用戶。
專家之所以看好中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)，還有一個(gè)更重要的因素是，它在我國(guó)發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的計(jì)劃中，扮演著重要角色。無(wú)論是國(guó)家其他重大專項(xiàng)——核高基、新一代無(wú)線通信網(wǎng)，還是上海大力推動(dòng)的先進(jìn)制造業(yè)、信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，都離不開(kāi)集成電路。集成電路制造技術(shù)和裝備的國(guó)產(chǎn)化，將帶動(dòng)一批戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。同時(shí)，這些產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展和市場(chǎng)的加速擴(kuò)大，又為集成電路行業(yè)的不斷突破提供了動(dòng)力。
“最大宗進(jìn)口物資”倒逼創(chuàng)新
長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)集成電路行業(yè)從制造工藝到裝備，再到材料，都嚴(yán)重依賴進(jìn)口，每年高達(dá)1200億美元的進(jìn)口額，使其成為我國(guó)最大宗進(jìn)口物資。此外，還有許多裝備由于國(guó)外采取禁運(yùn)措施，想進(jìn)口都不行。在此背景下，“02專項(xiàng)”應(yīng)運(yùn)而生。它的目標(biāo)十分明確：通過(guò)自主創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)追趕和超越。
“大兵團(tuán)攻關(guān)”卓有成效
集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈復(fù)雜，上下游的工序分工非常細(xì)，如果按傳統(tǒng)科技立項(xiàng)方式資助一兩個(gè)企業(yè)，就算出成果，也未必能直接用于生產(chǎn)。對(duì)此，“02專項(xiàng)”采取了“大兵團(tuán)”作戰(zhàn)的思路，在相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上由100多家企業(yè)、研究單位一起參與。
中芯國(guó)際就是典型例子。作為集成電路制造企業(yè)，它承擔(dān)了“65納米成套產(chǎn)品工藝”的研發(fā)工作，使我國(guó)的集成電路制造水平首次達(dá)到國(guó)際主流水平。目前，它每月可生產(chǎn)5000片12英寸芯片，貢獻(xiàn)了6億元產(chǎn)值。與此同時(shí)，中芯國(guó)際還扮演著“用戶測(cè)試方”的角色，項(xiàng)目組中負(fù)責(zé)裝備開(kāi)發(fā)、材料升級(jí)換代的單位，必須把成果拿到中芯國(guó)際的生產(chǎn)線上“跑”一下并得到認(rèn)可，才算真正成功。而國(guó)產(chǎn)先進(jìn)裝備的使用，反過(guò)來(lái)又有助于其進(jìn)一步提高制造工藝。目前他們正在研發(fā)精密程度更高的45納米、32納米芯片相關(guān)工藝?！肮窘窈髮⒉捎酶嗟膰?guó)產(chǎn)裝備，不是因?yàn)樗阋?，而是因?yàn)榇_實(shí)好用?！?strong>中芯國(guó)際首席執(zhí)行官王寧國(guó)說(shuō)。
不同于以往關(guān)起門來(lái)搞創(chuàng)新、搞鑒定，此次“02專項(xiàng)”成功的秘訣之一，就是按照產(chǎn)業(yè)鏈順序，讓下游檢測(cè)上游，讓“整機(jī)”檢測(cè)“部件”，以此確保質(zhì)量。目前，35種裝備、材料正在陸續(xù)進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗(yàn)證階段，23種封裝設(shè)備和8種封裝材料已通過(guò)生產(chǎn)線驗(yàn)證。
產(chǎn)業(yè)撬動(dòng)價(jià)值更可觀
“02專項(xiàng)”的這些成果，使我國(guó)與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至一個(gè)技術(shù)代（約1—2年），也為我國(guó)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中贏得了更多話語(yǔ)權(quán)。中船重工第718研究所此次承擔(dān)一種氣體刻蝕介質(zhì)的開(kāi)發(fā)，該所工作人員告訴記者，此前這種氣體的進(jìn)口價(jià)高達(dá)270美元/噸，開(kāi)發(fā)成功后，國(guó)際售價(jià)一下子下降了2/3以上。現(xiàn)在該所已擁有華虹等多家國(guó)內(nèi)芯片制造用戶。
專家之所以看好中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)，還有一個(gè)更重要的因素是，它在我國(guó)發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的計(jì)劃中，扮演著重要角色。無(wú)論是國(guó)家其他重大專項(xiàng)——核高基、新一代無(wú)線通信網(wǎng)，還是上海大力推動(dòng)的先進(jìn)制造業(yè)、信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，都離不開(kāi)集成電路。集成電路制造技術(shù)和裝備的國(guó)產(chǎn)化，將帶動(dòng)一批戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。同時(shí)，這些產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展和市場(chǎng)的加速擴(kuò)大，又為集成電路行業(yè)的不斷突破提供了動(dòng)力。
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