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[導(dǎo)讀]聯(lián)電(2303)今(19)日宣布成功產(chǎn)出微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)感測晶片,預(yù)計于今年進入量產(chǎn),投入約3年的CMOS-MEMS技術(shù)的研發(fā),終于開花結(jié)果。 聯(lián)電表示,使用該款CMOS-MEMS技術(shù)制造的麥克

聯(lián)電(2303)今(19)日宣布成功產(chǎn)出微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)感測晶片,預(yù)計于今年進入量產(chǎn),投入約3年的CMOS-MEMS技術(shù)的研發(fā),終于開花結(jié)果。

聯(lián)電表示,使用該款CMOS-MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng)元件已經(jīng)完成功能驗證,訊噪比(S/N ratio) 已可達到56dBA 以上之水準(zhǔn),預(yù)計將于今年上半年提供工程樣品,接著便能進入量產(chǎn)。此外,CMOS-MEMS加速度計的產(chǎn)品開發(fā)也己符合消費性電子產(chǎn)品之應(yīng)用規(guī)格(1g ~ 16g),其功能也達量產(chǎn)的目標(biāo)。

聯(lián)電指出,除了已與多家客戶合作開發(fā)各樣的MEMS晶片和高度整合的CMOS-MEMS產(chǎn)品,擴展微機電感測器于生活或環(huán)境監(jiān)測之高階應(yīng)用之外,也以自身多樣性的CMOS制程技術(shù),提供微機電專用ASIC晶片之專工服務(wù),以支援各種微機電應(yīng)用。

而面對MEMS感測器應(yīng)用的日益普及,CMOS-MEMS專工服務(wù)需求也急速增加。聯(lián)電表示,未來將開放此CMOS-MEMS技術(shù),提供產(chǎn)業(yè)及學(xué)術(shù)界做為新元件的開發(fā)。



    
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