實現(xiàn)了1級無塵標準（點擊放大）

氣流的直進性高（點擊放大）
只在周圍設(shè)置簡易防風墻等即可實現(xiàn)無塵室的“FLOORKOACHE Ez”達到1級無塵標準，興研在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張MESSE國際會展中心）會場上演示了1級無塵室。該公司在以前的Semicon會議上也展示過FLOORKOACHE Ez，但此次以達到1級無塵標準為契機，決定在會場上設(shè)置特大規(guī)模的無塵室以作宣傳。

半導體生產(chǎn)線的無塵室通常采用令空氣從房間上部向下部流動的垂直層流方式，設(shè)置用于向房間上部輸送空氣的風扇和過濾空氣污物的濾網(wǎng)，而且為了防止前后左右的墻壁面上產(chǎn)生的污物進入重直層流，還要注意壁面材料的選擇。因此，無塵室設(shè)置大多需要花費數(shù)十億日元。

而FLOORKOACHE Ez可以橫向壓出的氣流來實現(xiàn)無塵環(huán)境。而且，據(jù)稱該氣流的直進性極高，因此壁面產(chǎn)生的污物等不易進入氣流，因而無需對壁面采取特殊措施。具體而言，在前后左右四面中的一面設(shè)置FLOORKOACHE Ez，在左右面和上面設(shè)置簡易墻壁及天花板，防止打亂氣流的風等進入，并配備可使氣流從對抵抗面的兩側(cè)等排出的設(shè)施，便可實現(xiàn)無塵環(huán)境。實際上，會場上的無塵室是通過在金屬架上粘貼克力板之類的透明板構(gòu)成墻壁及天花板的。這樣便可低成本實現(xiàn)無尖室，比如能夠用6500萬日元將7m×20m×2.7m的空間打造成無塵室。而且設(shè)置工期也只需不到一周時間。

此次能夠?qū)o塵級別從原來的5級提高到1級，是因為開發(fā)出了名為“FERENA-ZE”的濾網(wǎng)組件。據(jù)介紹該濾網(wǎng)同時實現(xiàn)了與HEPA濾網(wǎng)相當?shù)膲簱p和與ULPA比肩的捕集性能。通過在FLOORKOACHE Ez中采用該濾網(wǎng)，實現(xiàn)了1級無塵標準。為了開發(fā)該濾網(wǎng)，興研使用了稱為“靜電紡絲（Electrospinning）”的技術(shù)。（記者：長廣 恭明，Tech-On?。?