ASML TWINSCAN系統(tǒng)實現(xiàn)新的里程碑 每日處理晶圓超越4000片
ASML近日宣布，兩位使用TWINSCAN 光刻機的芯片制造商實現(xiàn)了生產(chǎn)新紀(jì)錄，即在24小時內(nèi)實現(xiàn)了超過4000片晶圓的處理。這個里程碑記錄是在XT:870和XT:400上實現(xiàn)的，兩家使用者為亞洲的不同客戶。設(shè)備幫助他們提高了300mm光刻生產(chǎn)能力。
ASML和客戶一直致力于共同提高ASML光刻機的生產(chǎn)能力。ASML努力改善光刻機的硬件和軟件，而客戶則專注于改進工藝菜單和制造工藝。
衡量共同努力的一項關(guān)鍵指標(biāo)就是一天之內(nèi)處理的晶圓數(shù)量。另一項衡量指標(biāo)是設(shè)備能夠在365天內(nèi)實現(xiàn)100萬片晶圓處理。第一臺實現(xiàn)一年內(nèi)處理超過100萬晶圓的ASML TWINSCAN系統(tǒng)的是TWINSCAN XT:400E iLine，時間是在2007年10月?，F(xiàn)在已有超過200臺設(shè)備達到了這個指標(biāo)，包括了iLine、KrF和ArF，以及超過25臺浸入式光刻機。另外，最快實現(xiàn)100萬晶圓處理的時間是37周。
“光刻機這樣復(fù)雜的設(shè)備能實現(xiàn)生產(chǎn)的里程碑，這是我們的員工和客戶共同努力合作的結(jié)果。”ASML CMO和執(zhí)行副總裁Frits van Hout說，“為客戶提供高生產(chǎn)效率一直是ASML的目標(biāo)。我們將一如既往的提升我們的價值。”
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下載文檔據(jù)業(yè)內(nèi)消息，昨天半導(dǎo)體光刻機供應(yīng)商荷蘭ASML公司發(fā)布了今年Q3季度的財報數(shù)據(jù)， 其中銷售額和利潤均好于預(yù)期，凈預(yù)訂數(shù)據(jù)更是創(chuàng)新紀(jì)錄。
關(guān)鍵字： ASML據(jù)彭博社2月9日的消息，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）警告稱，一家此前被指控竊取其商業(yè)機密的中國公司的關(guān)聯(lián)公司已開始銷售疑似侵犯其知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。
關(guān)鍵字： ASML 光刻機 知識產(chǎn)權(quán)
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