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蝕刻技術再創(chuàng)新　應材新系統(tǒng)更快速、更環(huán)保

時間：2010-12-01 03:16:00
關鍵字： CE    半導體    AN    晶圓   
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[導讀]應用材料(Applied Materials)日前推出一款 Applied Centris AdvantEdge Mesa 蝕刻系統(tǒng)，這是一種新的智能平臺結構，它讓繁復且微縮的芯片設計更可行，適用于先進內存和邏輯芯片制造。應材表示，智能化系統(tǒng)讓每片晶


應用材料(Applied Materials)日前推出一款 Applied Centris AdvantEdge Mesa 蝕刻系統(tǒng)，這是一種新的智能平臺結構，它讓繁復且微縮的芯片設計更可行，適用于先進內存和邏輯芯片制造。應材表示，智能化系統(tǒng)讓每片晶圓均勻度達埃(angstrom)等級，與現(xiàn)有的其他半導體蝕刻系統(tǒng)相比，速度提高了2倍，操作成本最多減少30%。

Centris 系統(tǒng)具備8個制程反應室，包含6個蝕刻制程反應室和2個電漿清洗制程反應室。這讓系統(tǒng)每小時都能處理180片晶圓，促使單片晶圓的成本最多可減少30%。持有專利的系統(tǒng)智能軟件保證每個反應室的每項制程能精確對準，讓每片晶圓皆具埃等級的均勻度，是未來極復雜的芯片設計若要達成高良率不可或缺的關鍵設備。

應用材料公司副總裁暨蝕刻事業(yè)處總經(jīng)理葉怡利表示：「半導體蝕刻是業(yè)界發(fā)展最快的市場之一，而新的Centris系統(tǒng)將改變半導體蝕刻的游戲規(guī)則，因為制造先進微芯片的極小電路，仰賴著越來越多關鍵的蝕刻步驟。我們將新的Centris平臺，與世界級的AdvantEdge Mesa技術結合所帶來的成果，正好說明我們以客戶為導向的產(chǎn)品創(chuàng)意，是推動應用材料公司朝向多種蝕刻市場應用發(fā)展的動力?！?br>
應用材料進一步指出， Centris AdvantEdge 蝕刻系統(tǒng)也成為綠色制程的開路先鋒。與市場現(xiàn)有的半導體蝕刻系統(tǒng)相比 ， Centris系統(tǒng)每年基本上所節(jié)省的電力、水和天然氣消耗，相等于600,000磅的二氧化碳排放量。Centris系統(tǒng)可以協(xié)助半導體廠降低營運成本，并支持永續(xù)量產(chǎn)方案。



來源：互聯(lián)網(wǎng)臺灣

作者：zhaobin

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