[導讀]諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)日前宣布開發(fā)出一種創(chuàng)新的DirectFill化學氣相沉積氮化鎢(WN)線性阻隔膜,取代傳統(tǒng)的物理氣相沉積(PVD)金屬鈦及有機化學氣相沉積法(MOCVD)氮化鈦堆積成線性阻隔薄膜用于先進內(nèi)存組件的
諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)日前宣布開發(fā)出一種創(chuàng)新的DirectFill化學氣相沉積氮化鎢(WN)線性阻隔膜,取代傳統(tǒng)的物理氣相沉積(PVD)金屬鈦及有機化學氣相沉積法(MOCVD)氮化鈦堆積成線性阻隔薄膜用于先進內(nèi)存組件的鎢接觸傳導和銅線互連傳導應用。氮化鎢(WN)薄膜沉積使用諾發(fā)系統(tǒng)的ALTUS多平臺序列沉積(MSSD)架構及脈沖成核(PNL)專利技術。該 DirectFill制程沉積超薄,20埃氮化鎢(WN)比傳統(tǒng)的物理氣相沉積厚200埃氮化鈦和鈦堆棧,擁有更薄更好的膜電阻率和阻隔性能。這種超薄膜降低了鎢電阻高達百分之三十,并擴展鎢技術超越3Xnm的技術節(jié)點。
隨著更快、更節(jié)能的存儲元件功能和組件體積收縮方面的需求日益增加,進而導致要求將銅連接線制程整合到閃存(FLASH)和易失存儲器(DRAM)裝置。但是對于第一金屬層還是沿用傳統(tǒng)的鋁制程之整合鎢接觸的鏈接信道使從第一層到銅及鋁層。但若進而縮小尺寸到3Xnm技術節(jié)點以下,此一氣相沉積鎢的接觸信道整合技術就會受到傳統(tǒng)鈦/氮化鈦線興隔絕層堆積產(chǎn)生的瓶頸效應的挑戰(zhàn)。物理氣相沉積鈦在通道口的突起沉積減少了通過開放口的面積,可導致不完整的化學氣相沉積鎢填充,造成通道中間有不完整充填的空隙。金屬有機化學氣相沉積氮化鈦TiN薄膜必須沉淀到的最小厚度,以防止硅烷氣體(鎢塞填充過程中使用的氣體)擴散并在通道接口形成高電阻率銅硅化物。
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